招标书12139--多气氛等离子反应器招标公告

　　上海理工大学材料学院由于学科建设需要，需订购多气氛等离子反应器一台，现在网上公开招标信息，欢迎各单位、厂商参与投标。

　　一、设备参数：

　　放电功率：0-500W放电频率：13.56MHz

　　放电方式：电感和电容耦合，两种放电

　　腔室：两个（普通气体、腐蚀气体）

　　工作气体：氩气、氧气、氢气、氮气、含氟气体

　　设备构成：壳体放电腔室（两个，一个不锈钢，一个石英腔）射频电极（电感和电容）射频电源（500W,连续可调，可精确定位（可重复性好），可进行短时间设定（如小于5秒））

　　真空系统（耐腐蚀泵组）

　　进气系统（全部用质量流量计，氮气量程500，氩气500，氧气200，氢气100，含氟气体需要用防腐蚀质量流量计，量程100）

　　二、其他要求：

　　（1）付款方式

　　预付90%货款，余10%质保金一年后付清。

　　（2）供货周期

　　40天内交货。

　　（3) 验收标准和方法：提供元件清单，按照有关的国家标准和买方的检测要求进行，最终验收在买方现场完成安装、最终验收买方应在设备安装调试完毕后，买方签署验收意见。

　　（4) 质量保证和售后服务要求：安装验收合格后的3年内免费保修，所有维修费用免费。在保修期过后提供有偿维修，出现故障报修后48小时内到达现场。保修期内提供一次免费的上门技术指导和一次应用提高培训。

　　技术负责人：唐老师 电话：********

　　招标截止时间： 2012年5月18日上午10:00（标书一式二份封存并注明招标号）

　　标书请寄：上海理工大学公共服务中心102室设备科（军工路516号，邮编200093）

　　联系电话（传真）：********

　　联系人：缪老师