多层精密光学薄膜真空溅射镀膜设备招标公告
多层精密光学薄膜真空溅射镀膜设备招标公告
中国机械设备工程股份有限公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2020-07-16在公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:中国机械设备工程股份有限公司受业主的委托,邀请合格投标人就8英寸多层精密光学薄膜真空溅射镀膜设备采购项目所需设备及有关服务提交密封投标。投标方应根据招标文件所提出的设备技术规格和服务要求,综合考虑设备的适用性,选择具有最佳性能价格比的设备前来投标。希望投标方以精美的设备、优良的服务和优惠的价格,充分显示你们的竞争实力。
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0713-204000620001
招标项目名称:8英寸多层精密光学薄膜真空溅射镀膜设备
项目实施地点:中国辽宁省
招标产品列表(主要设备):
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 8英寸多层精密光学薄膜真空溅射镀膜设备 | 1套 | 本次招标采购设备8英寸多层精密光学薄膜真空溅射镀膜设备,用于量产镀制精密光学应用的各种多层光学薄膜滤光片膜系。设备要能实现下述示例光谱性能(但不局限于此膜系性能)。应说明设备可实现的各种膜系的能力。主要技术指标:*2.2.1光谱范围,镀膜材料:设备能通过更换不同靶材,实现330nm-1700nm光谱范围多种氧化物、氢化物等材料的高精度镀膜能力。*2.2.2量产性能:满足上述光谱性能要求的单次镀膜最大可用面积不低于3000 cm2;可装载最大玻璃基底直径尺寸不小于200mm,装载数量不低于11个。基于上述光谱性能要求的产品,高、低折射率薄膜材料沉积速率不低于0.4nm/s。应提出以上光谱产品,尺寸为直径11mm玻璃基片,镀膜一次所需时间及装机数量。说明镀膜(直径11mm*2mm的规格)量产能力及配置,成品率,均匀性等性能描述等等,具体详见标书 |
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