材料学院高真空电阻蒸发镀膜设备招标公告

材料学院高真空电阻蒸发镀膜设备招标公告


招标公告编号LNSY********商品品目专用设备招标公告主体内容

沈阳工业大学材料学院高真空电阻蒸发镀膜设备采购项目询价公告

辽宁承明招投标有限公司受沈阳工业大学委托,对沈阳工业大学材料学院高真空电阻蒸发镀膜设备采购项目(项目编号:LNSY********在中华人民共和国境内进行询价采购,现欢迎合格的供应商参加本次采购活动。

一、采购人的采购需求


包号

包组名称

是否

进口

主要技术要求

数量

01

高真空电阻蒸发镀膜设备

1、真空腔室:直径不小于300mm,高度不小于420mm;

2、真空系统:主泵采用分子泵,分子泵抽速不小于551L/s;前级泵抽速不小于6L/s;

★3、真空极限:优于2.0×10-5Pa;

4、抽速:抽至2.0×10-4Pa≤15min,抽至9.9×10-5Pa≤45min;

5、基片台尺寸:最大可镀基片尺寸不小于4英寸,衬底水冷;

6、源基距:源基距最高可达300mm以上;

7、可在线监测镀膜速率和厚度,膜厚仪采用高精度石英晶振膜厚监控仪,测量频率范围1.0~6.5MHz;速率显示为0.1A/s,厚度分辨率±0.37A;

★8、蒸发源及电源:不少于两组蒸发源,可拓展至多四组蒸发源;不少于1台蒸发电源,功率不小于2.3Kw;

9、其他:配齐设备需要的其它外围设备,冷水机一台,设备备品备件一套,要求设备到位后即能开展工作;

1台

二、项目预算及最高限价(按包)

项目预算金额:人民币130,000.00元。

最高限价金额:人民币130,000.00元。

三、合格供应商的资格条件

1、具有独立承担民事责任的能力;

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;

3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;

4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录;

5、参加本次采购活动前三年内,在经营活动中没有重大违法记录;

6、合格供应商还要满足的其它资格条件:无。

四、是否允许联合体参与采购活动

本项目不允许联合体参与采购活动

五、采购文件的领取

采购文件领取时间:202071708:30时起至202072216:00时止(北京时间,节假日除外)

采购文件领取方式:现场报名或邮箱下载。

采购文件领取地点:辽宁承明招投标有限公司。

采购文件发售价格:人民币300元/本,售后不退。

领取文件其他说明:

1、适用于现场领取方式:

购买采购文件时须携带以下材料:法人或者其他组织的营业执照等主体证明文件或自然人的身份证明复印件(自然人身份证明仅限在自然人作为响应主体时使用);2、法定代表人(或非法人组织负责人)身份证明书原件(自然人作为响应主体时不需提供);3、授权委托书原件(法定代表人、非法人组织负责人、自然人本人购买采购文件的无需提供)。

2、适用于邮件领取方式:

发送邮件包含以下材料扫描件至liaoningshangyu@126.com: 1、法人或者其他组织的营业执照等主体证明文件或自然人的身份证明复印件(自然人身份证明仅限在自然人作为响应主体时使用);2、法定代表人(或非法人组织负责人)身份证明书原件(自然人作为响应主体时不需提供);3、授权委托书原件(法定代表人、非法人组织负责人、自然人本人购买采购文件的无需提供)4、报名信息表(包含项目名称、项目编号、报名单位全称、授权委托人姓名、移动电话),同时将标书款汇至指定账户,代理机构核验无误后向供应商发放采购文件电子版。

六、递交响应文件截止时间、询价会议时间及地点

递交响应文件截止时间及询价会议时间:2020年7月28日 15:00时(北京时间)。

递交响应文件及询价会议地点:辽宁承明招投标有限公司(沈阳市皇姑区黄河南大街106号丽阳商务大厦A座16层1602室),响应文件的递交形式为现场递交或邮寄递交。

七、公告期限

公告期限:2020717日至2020722

八、质疑与投诉

供应商认为自己的权益受到损害的,可以在知道或者应知其权益受到损害之日起七个工作日内,向采购代理机构或采购人提出质疑。

1、接收质疑函方式:书面纸质质疑函

2、质疑函内容、格式:参照《政府采购质疑和投诉办法》相关规定和财政部制定的《政府采购质疑函范本》格式。(详见辽宁政府采购网)

九、采购人、采购代理机构的名称、地址和联系方式

采 购 人:沈阳工业大学

地 址:沈阳市经济技术开发区沈辽西路111号

项目联系人:唐岩

联系电话:***-********

采购代理机构:辽宁承明招投标有限公司

地 址:沈阳市皇姑区黄河南大街106号丽阳商务大厦A座16层1602室

项目联系人:孙先生、张女士

联系电话:***-********

传 真:***-********

邮箱地址:liaoningshangyu@126.com

开 户 行:光大银行沈阳皇姑支行

账户名称:辽宁承明招投标有限公司

账号:****************300007

辽宁承明招投标有限公司

2020年7月17日

标书价格无 元开标时间2020-07-28招标发布单位名称辽宁承明招投标有限公司备注信息无

联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 蒸发镀膜设备 电阻 真空

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