ITO 电子束蒸发台招标公告

项目名称：武汉迪源光电科技有限公司电感耦合等离子体刻蚀机、ITO 电子束蒸发台设备采购
日期：2012年05月23日
招标编号：0616-1240WH122034/02
湖北设备工程招标有限公司受买方委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2012年05月23日公告。 本次招标采用传统招标 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标产品的名称、数量及主要技术参数：
2.设备/项目名称及采购数量：ITO 电子束蒸发台 1台（套）
3.报价币种:美元或其他国际流通货币
报价方式：CIF 武汉
交 货 期： 合同签订后1个月
4.实现的功能及用途：通过高压激发钨放电，通过磁场聚集高能电子，高能电子轰击ITO靶材后，使其ITO靶材达到蒸发点，沉积到基板上。起到ITO镀膜作用。 5.设备尺寸：
主体：1300mm（W）*1700mm（D）*1980mm（H）最小占地面积设计
泵体：700mm (W) * 690mm (D) * 715mm (H)
6.工作腔体系统：（1Set）
腔体尺寸：880mm(直径)*880mm(高)
腔体材料：SUS 304
腔门设计：手动开闭
7.*观察视窗：5" 置于腔门（配有反射镜）8.*芯片承载系统：
承载盘（镀锅）：行星衬锅，可以根据客户衬底的状况来定做
207片镀锅1套，另1套在在随机备品中。最大产能, 最低COO
旋转速率：（5～20）rpm
承载数量：207PCS（2寸Wafer）
9.加热系统：
加热源：石英灯
加热源保护装置：石英玻璃
加热最高温度：320℃
温度控制系统：PID 控制（分段控制）
10.电子枪蒸发系统
电子枪系统
*类型：Telemark （采用Cheetah 先进扫描控制），数位式可程式扫描器
电源类型：Telemark TT-10
电源输出功率：10kW
坩埚尺寸：25cm3
坩埚数量：4个
坩埚遮板控制：气动控制
11.真空控制系统：
真空泵组成：
冷泵+ 干泵
冷泵类型：ULVAC Cry0-U16
*冷泵效率：16000L/Sec
干泵类型：Hanbell PS-602
干泵效率：10000L/Min
*无油干泵
12.真空监控系统
*高真空计类型： GP 390（数字化） 数位式全量程真空计
*Pirani gauge 类型：GP 275 数位式低真空计
13.膜厚监控系统：
膜厚计类型：Inficon xic-3c（双探头型）
石英振荡片型号：6MHz
控制系统：RS -232
冷却系统：水冷
14.*穿透率测量仪：波长范围380nm～760nm
15.*四点探针仪
16.氧气控制系统：
氧气流量计：Brooks 5850E
氧气最大流量：30sccm
17.机台自带备品：
挡板1套，共2套
观察视窗玻璃及其石英玻璃1套
电子枪挡板1套
18.操作系统：
*PC Windows 操作系统
(全数字化PC远程控制, 可升级产品条形码读取, 并可全参数记录)
19.厂务需求：
电力：交流电三相380V,50HZ,最大电流100A
接地：接地电阻3Ω以下，（E-GUN及系统接地共两组）
压缩空气：供应压力：5kg/cm2
接头规格：f9.5mm 数量1个
气体供应：供应压力：1 kg/cm2
接口尺寸:1/4",数量1个
氮气纯度>99.99%
抽气管路：干泵抽气40毫米，数量1个
冷却水：供应流量：25L/min
温度：20℃
供应压力>1.5 kg/cm2

2、招标文件售价：800.00
3、购买招标文件时间：2012-5-23至2012-5-28
4、购买招标文件地点：湖北设备工程招标有限公司
5、投标截止时间和开标时间：2012-06-12 10:00
6开标地点：湖北设备工程招标有限公司1513会议室
地 址：中国湖北省武汉市洪山区珞喻路78号长江传媒大厦15楼
邮编：430019
电子邮箱：hbzbzx2010@163.com
电话： ***-********、********
传真：***-********
联系人：刘洋、吴文博、朱小青
开户银行（人民币）：浦发银行武汉分行
开户银行（美元）：浦发银行武汉分行（外汇）
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帐 号（美　元）：****************（美元