北京大学物理学院“双腔高真空热蒸发镀膜系统”招标采购项目招 标 文 件编号：2012[35]北京大学实验室与设备管理部二〇一二年六月六日 目录第一部分投 标 邀 请2第二部分招标说明4第三部分技术要求7第四部分设备明细表11第五部分技术规格偏离表12第六部分原厂授权书13开标一览表14 第一部分投 标 邀 请公告日期：2012年6月6日项目名称：北京大学物理学院“双腔高真空热蒸发镀膜系统”招标采购项目招标编号: 2012[35]招标机构名称: 北京大学实验室与设备管理部地址：北京市海淀区颐和园路5号北京大学（红1楼、红2楼之间横楼二层5225室）邮编：100871电话： ********；传 真：********联 系 人：石铄 张宇波 张洁北京大学实验室与设备管理部（以下简称“招标机构”）具体承办北京大学物理学院“双腔高真空热蒸发镀膜系统”招标采购项目的招标采购事宜，邀请合格投标人就下列货物和有关服务提交密封投标。合格投标人均可在招标机构得到进一步的信息和查阅招标文件。1.招标内容1.1招标货物名称：双腔高真空热蒸发镀膜系统1.2数量及技术规格要求：详见标书 1.3交货地点：北京首都机场或天津新港2.合格投标人必须符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条之规定。3.招标文件购买时间和办法：2012年6月11日-6月26日9:30至16:30时在招标机构（北京大学西门内红1楼、红2楼之间横楼二层5225室）购买招标文件。标书售价200元人民币，售后不退。4.投标人可从北京大学招标公告栏或实验室与设备管理部网站下载本次招标的电子版标书（http://www.lab.pku.edu.cn/more2.asp），以供参考。5.接受投标时间、投标截止时间及开标时间5.1接受投标及投标截止时间：所有投标书应于2012年6月27日9:00前递交到上述购买标书地址，逾期恕不接受。5.2开标时间：兹定于2012年6月27日9:00整在北京大学实验室与设备管理部后院会议室进行开标、评标工作。6.投标细则6.1 投标内容6.1.1最终用户：北京大学物理学院6.1.2设备名称：双腔高真空热蒸发镀膜系统6.1.3投标语言：投标文件第四部分- Summary Sheet of Goods Description（设备明细表）及第五部分-Specification and Deviation Form（技术规格偏离表）以中英文对照应标，其余相关投标文件以中文应标。6.1.4投标货币：美元6.1.5交货时间：合同签订后的3个月内6.2 付款条件：招标机构接受以下付款方式：100%不可撤消即期信用证，其中90%货款凭装运单据支付，10%尾款凭用户签字确认且加盖单位公章的验收报告支付。6.3 标书文件要求6.3.1投标设备及价格明细表(Summary Sheet of Goods Description)6.3.2技术规格应答及偏离表（Specification and Deviation Form）（请对技术标书内容逐项应答并填充具体指标）6.3.3技术资料及样本原件6.3.4原厂商委托书原件（适用于投标人为贸易公司者）6.3.5 资格证明文件包括：营业执照（复印件）； 法人资格证明或法人代表授权书；税务登记证明（复印件）；银行资信证明；近三年的销售业绩及投标人认为有必要提供的相关证明文件。6.4 文件数量：一式陆份（一份正本五份副本），开标一览表（SUMMARY SHEET FOR BID OPENING）壹份（请单独放在壹小信封内供开标用）7.投标地点和开标地点：北京大学实验室与设备管理部会议室8.中标结果将在公示期满后以书面形式通知中标商。9.中标服务费按差额定律累进法计算收取，具体为：9.1100万元人民币以下部分按1％收取；9.2100－500万元人民币部分按0.8％收取；9.3500万元以上人民币部分按0.6％收取。10.条款解释：本招标文件内容的解释权属于北京大学实验室与设备管理部。第二部分招标说明一．招标要求1.北京大学实验室与设备管理部（以下简称“招标机构”）具体承办北京大学物理学院“双腔高真空热蒸发镀膜系统”招标采购项目的招标采购事宜(Bid No. 2012[35])。2.投标人应仔细阅读招标文件（包括技术规格）的全部条文。3.投标人所提供货物的技术规格应符合或超过标书中技术规格的要求。如果投标人不提供技术规格偏离表说明偏离情况，则将认为提供的货物完全符合招标文件的要求。4.投标产品是用新技术制造的，应相当或超过招标文件规定的技术规格，投标产品应具有相当或更好的性能、可靠性和耐用性。5.投标时提交的产品样本必须是“原件”，而不是“复制件”。6.交货地点为北京首都机场或天津新港。7.交货时间在标书的技术规格部分中已注明。在投标文件中，投标人必须说明在授标以后完成交货的时间，经双方同意的交货期从合同生效之日算起。8.除了在技术规格中提出的要求外，在合同生效后60天之内，为使用户做好准备工作，卖方应给最终用户邮寄一套所供产品的全套技术资料，其中包括操作手册（或应用指南）、维修手册等，另一套完整的技术资料应随货物包装发运，这些费用应包括在该品目的基本报价中。9.在合同生效后30天内应将设备安装前对实验室的具体要求邮寄给最终用户。10.设备应包括一套标准附件和专用工具，投标人按常规提供的标准附件和工具的数量，应在投标中说明，并报单价。这些费用应包括在该品目的基本价格之内。11.对招标品目，除了标准附件外投标人还可提供保证设备正常运行的附件，专用工具，它们是该品目的补充部分，需分别报单价和总价，在评标时其总价应计入该品目的基本价格之内。12.在技术规格中提出了询问的附件、备件、专用工具和消耗品，需分别报单价和总价，一旦接受，其费用将记入合同。13.除了技术规格中买方提出的要求之外，投标人可以推荐某些附件、备件和消耗品，它们是供选购的，应分别报单价和总价，一旦接受，其费用将计入合同。14.维修及技术服务要求详见标书技术需求部分。15.投标文件一式六份(一正五副)，包括以下文件：15.1投标设备及价格明细表(Summary Sheet of Goods Description)15.2技术规格应答及偏离表(Specification and Deviation Form)（请对技术标书内容逐项应答并填充具体指标）15.3技术资料包括样本原件15.4原厂商委托书原件(适用于投标人为贸易公司者)15.5资格证明文件16.投标文件有效期为自开标之日起的60天。投标货币为美元。接收投标文件截止时间为 2012年6月27日9:00时。投标商务必在此时间前把密封投标文件送达，逾期恕不接受。邮编：100871； 电话：010-********； 传真：010-******** 联系人：石铄、张宇波、张洁。二． 评标原则1. 初步审查及确定是否基本响应：1.1审查投标人所投的标是否完整无误，如单价和总价间有出入，则以单价为准，修正总价；如文字与数字间有出入，则以文字金额为准；1.2确定标书是否对招标文件做出了基本响应，即是否符合招标文件的所有条款，有没有重大偏离。重大偏离系指实质上影响投标人提供货物数量、质量或交付期，或者指实质性地与招标文件不一致，限制了招标方的权利或投标人的义务；1.3对标的响应性的确定是依据投标文件本身的内容，而不受外因的影响；1.4确定为未做出基本响应的标将予排除，投标人不能在开标之后，通过改正不符之处而使其投标变为能响应。对于投标文件中并不构成重大偏离的任何细小的不正规、不一致或参差不齐，可以忽略。2.评标方法：本次招标采用综合评分法，是指在最大限度地满足招标文件实质性要求前提下，按照招标文件中规定的各项因素进行综合评审后，以评标总得分最高的投标人作为中标候选供应商或者中标供应商的评标方法。3.评分因素所占权重：3.1投标报价：30％；3.2综合商务：10％，考虑投标商资质状况；考虑投标人供货方案；考虑投标人近3年来做过的与本项目相同或相似的项目业绩等；3.3技术性能：50％，考虑投标商的设计方案、投标产品的配置、性能、可升级部件的性能等；3.4售后服务：10％；售后服务，培训等；4.标的澄清：为有助于对评标文件进行审查、评价和比较，我们可以请投标人澄清其投标内容。提出澄清的要求与答复均应是书面的，并不得改变投标价格或实质内容。5.资格后审：5.1这次评标中，我们将对综合得分最高投标人和紧接其后的具有评估价的另一投标人进行重点资格后审；5.2确定所选择的投标人是否有资格满意地履行合同，同时对紧接其后的具有评估价的另一投标人也要求做出类似的确定；5.3做出确定时将考虑投标人的财务、技术、服务和生产能力。审查是以投标人提交的投标人资格证明文件及我们认为必要的其它资料为基础进行的；5.4如果确定综合得分最高的投标人不符合履行合同资格，其标将被排除，随即考虑第二家。6.授予合同的准则：招标机构不承诺最低价中标，将把合同授予成功的投标人，即所投的标被认定是能最大限度的响应、综合得分最高且是经资格后审后认为能满意地履行合同的投标人。7.废标：遇到下列情况之一时，可以废标：7.1全部投标厂商均不具备投标资格；7.2全部投标实质上都有不符合招标文件要求；7.3缺乏有效的竞争；7.4投标价格超过预算，招标人无力支付。三．评标程序1.从开标到批准授予合同为止，这一段工作称为评标。2.开标后，业务组整理投标文件及有关商务资料，登记分发给评标人进行评标。3.评标人检查投标文件的完整性。投标文件应包括以下文件：3.1投标设备及价格明细表(Summary Sheet of Goods Description)3.2技术规格应答及偏离表(Specification and Deviation Form)3.3技术资料（样本原件）3.4原厂商委托书原件(适用于投标人为代理商或贸易公司)3.5资格证明文件 第三部分技术要求1. 设备名称双腔高真空热蒸发镀膜系统2. 数量 一套3. 设备用途说明用于研发用途，金属和非金属薄膜的沉积，主要作用是蒸发金属、导电材料和非导电材料，并在不同的衬底材料上沉积形成薄膜。4. 工作条件 环境温度要求22-25℃，相对湿度小于60%，电源要求380V / 60Hz / 3phase 50A，设备能够长时间连续运行。5，规格、技术要求及参数5.1 设备组件设备需要具备进出片腔和工艺腔。系统需由二个真空腔体组成，二个真空腔体分别为进片/出片腔与工艺腔。进出片腔需要具有等离子清洗模块，等离子电源需具有数字式具电弧抑制与自我侦测功能，可提供电压输出，电流输出，功率输出等模式选择。样品台平面和蒸发沉积的方向所成夹角可以从垂直连续调整到＋/－45度。5.2. 设备基本参数 5.2.1. 设备加工的衬底为两英寸的圆片材料（误差符合SEMI标准）5.2.2工艺腔体必须配备高真空阀门，高真空磁浮式渦輪分子泵，粗抽泵采用干泵，加液氮冷阱。5.2.2.1 本底真空：小于8.0 x 10-8 托 5.2.2.2 抽气性能暴露于大气状态五分钟后，20分钟内将工艺腔体的真空抽到小于5 x 10-6 托（测试前系统处于本底真空状态，系统应在室温下保持清洁、干燥。抽气过夜真空度须达到8 x 10-8 torr5.2.3.不锈钢制真空控制阀5.2.4.系统漏率.5.2.4.1 氦气测漏，系统漏率应低于5.0E-10 l/sec torr 5.2.5. 所有气体管道必须为全新并检测合格（可参考SEMI标准）.5.2.6. 所有水管必须为全新并检测合格（可参考SEMI标准）.5.2.7. 每一个腔体，片架和阀门动作都应调试到位.5.2.8. 须采用数字显示型离子规管进行真空测量和显示.5.2.9. 提供一份完整的洁净纸（适用于净化室）操作手册。5.2.10. 工程师能随时监控圆片薄膜沉积过程.其它细节信息如下： 样品安装与取出的调节程序详细的操作和维修手册维护保养工具5.3. 设备性能指标要求5.3.1 真空系统 系统抽真空20分钟内要是真空度达到5 x 10-6 托（测试前系统处于本底真空状态，系应在室温下保持清洁、干燥）。抽气过夜真空度可达到8 x 10-8 torr5.3.2 镀膜性能测试膜厚不均匀性≦ +/- 3.0%，测试以 2" 圆片为基准圆片测试五点. (测试点距芯片边缘10 mm )"不均匀度"= {[(T max -T min ) / T avg ] / 2}x100蒸镀 2000 A 厚度的铝，不均匀度≦ +/- 3.0 % 横跨测试圆片6，附件及零配件需列出附件和零配件，包括备品消耗品和专用工具7. 选件是否有选件？如有需单独报价8. 技术服务条款供货商负责在北京大学开启运行设备，并验证双方共同签订承诺的验收协议内容。北京大学负责设备摆放、水平校准并正确安装水、电、气等公用外围设施。8.1 最终验收8.1.1. 验收条件和规格 参见5.3 设备性能指标要求 8.1.2 设备在北京大学场地安装调试后进行最终验收.8.1.3.文件提供一套适用于洁净室的手册，包括操作手册，维修手册和电路图手册.8.2 培训设备安装完成后，供货商工程师负责对北京大学工程师提供一些基本的培训，并就北京大学方面提出的关于设备的合理问题作出响应。用户使用仪器一段时间后，投标商对用户相关人员进行进一步操作和技术培训。 8.3 售后服务8.3.1供货及安装: 投标方免费对所有货物负责安装、调试。提供成交货物齐全的资料（包括使用说明、安装手册、维修手册、专用工具等）。8.3.2投标方应具备可靠的服务能力，北京有固定的维修点或维修工程师，专业的售后服务工程师，保修期内非人为因素损坏不收取零部件及其他费用，并提供终身售后服务。接到用户维修邀请后，24小时内电话响应，若需现场维修，48小时应到现场，如因卖方原因不能及时修复，保修期将相应顺延。8.3.3 设备验收合格后提供12个月保修服务，设备保修期满前1个月，卖方免费负责一次全面的检查、维护，并写出正式报告，如发现潜在问题，应负责排除。8.3.4在设备保修期结束后，保证可以提供及时的售后服务，优惠的备件供应。设备供应商提供终身维修，并保证保修期满后不低于十五年的零配件及消耗品的供应8.3.5 设备厂商投标的设备型号及主要功能，必须在全球范围内已具备一定的用户基础，不接受正在开发或没有正式商业化的产品或选件。8.3.6若用户（购买方）购买该仪器后需增加其他附件，应享受与该仪器主机相同的折扣。8.3.7软件升级：在硬件支持的前提下，免费提供软件升级服务。9. 包装要求及运输方式9.1包装要求：应使用崭新坚固之木箱（标准出口包装），适合于空运、海运或陆运等长途运输方式；适合气候变化；抗震、防潮、防雨、防锈、防冻。投标商应对任何由于不当包装或防护措施不利而导致的商品损坏、损失、锈蚀、费用增长等后果负责。9.2运输方式：空运或海运10．交货期合同签订后3个月内交货11. 交货地点北京首都机场或天津新港 第四部分设备明细表Summary Sheet of Goods DescriptionBid No. 2012[35] Item No.序号Commodity品名Specifications技术规格Qty数量Unit单位Unit Price单价Amount总价 Signature of Bidder: ___________________________投标商签字：第五部分技术规格偏离表Specification and Deviation FormBid No. 2012[35]Item No.序号Commodity品名Specifications required标书要求技术规格Specifications offered投标应答技术规格Deviation偏离说明Signature of Bidder: _______________________投标商签字：第六部分原厂授权书参与投标的代理商或贸易公司须持有制造商针对本次投标的授权，或在有效期内的长期授权。进口品牌原厂授权书可参照如下格式：LETTER OF AUTHORITY FROM MANUFACTURER___________________(Name of Manufacturer)To Whom it May Concern:We ________________ (Name of Manufacturer), a manufacturer duly organized under the laws of _____________ (Name of Country) and having its principal place of business at ______________________________ (Address of Manufacturer), herebymake, constitute and appoint , a company duly organized under the laws of and having its principal place of business at , to be our true and lawful attorney in fact to do the following:(1) To represent and bind us in the P. R. China for the Buyers Invitation for Bid No.2012[35] for supply of the Goods proposed in the bid which we manufacture or produce.(2) That, as a manufacturer, we bind ourselves as co-maker of the bid and are jointly and severally responsible for the compliance of the said bid.(3) That we hereby give and grant to the saidfull power and authority to do and perform all and every act and thing whatsoever, requisite, necessary and proper to be done in the premises, as fully to all intents and purposes as we might or could do, with full power of substitution and revocation, hereby ratifying and confirming all thator its duly authorized representative shall lawfully do, or cause to be done by virtue hereof.IN TESTIMONY WHEREOF WE HAVE HERETO SIGNED THIS DOCUMENT ON_____________2012______________ .Accepted on _________2012__________ .NAME OF TRADING COMPANYNAME OF ISSUING MANUFACTURER (Name of duly authorized(Name of duly authorized representative to sign, representative to sign, rank or position and department)rank or position and department) 开标一览表SUMMARY SHEET FOR BID OPENINGBid No. 2012[35]Name of Bidder投标商名称 Country of Origin of Bidder投标商国别Country of Origin of Manufacturer原产商国别Name of Goods产品名称及型号Total CIP Price到岸价Signature of Bidder: _____________________________________投标商签字：