一、项目信息

采购人：山东大学

项目名称：山东大学4-8英寸多线切割机

拟采购的货物或者服务的说明：

为了继续提升晶片的直径、产能及加工质量，满足半导体加工对几何尺寸的要求，保持领先的研发水平，需要购置多线切割机。该仪器可稳定高效的实现4-8英寸SiC、GaN、蓝宝石、水晶、陶瓷、化合物、氧化物、人造宝石、单晶硅等各种硬脆性材料片状切割，提高切割精度和提高工作效率，节省原材料，减少下道工序工作，是晶片加工过程中第一步也是至关重要的工艺设备。

拟采购的货物或服务的预算金额：120.0 万元（人民币）

采用单一来源采购方式的原因及说明:

经调研，本次采购的多线切割产品由湖南宇晶机器股份有限公司具有多项专利，能够实现将金刚线摇摆切割设备线速度提速至1800m/min，摇摆工作台采用正负压原理的密封技术从而保证精密摇摆弧轨的使用寿命；工作台采用最新的±12°摇摆的切割技术替代普通设备砂浆加主轴摇摆切割的技术可提高切片效率和切割精度，其摇摆结构采用伺服控制系统，精度高，摇摆弧度可控，速度可控；为独家生产专利产品，是晶圆加工过程中必备的超精密加工设备，需采用单一来源方式采购。

二、拟定供应商信息

名称：湖南宇晶机器股份有限公司

地址：益阳市长春经济开发区资阳大道北侧01号

三、公示期限

2020年08月04日 至 2020年08月10日 （公示期限不得少于5个工作日）

四、其他补充事宜：

五、联系方式

联系人：山东大学　　　　　

地址：山东省济南市山大南路27号　　　　　　　　

联系方式：鲁老师 ****-********　　　　

附件：