匀胶机(GY202004331)采购公告
匀胶机(GY202004331)采购公告
项目名称 | 匀胶机 | 项目编号 | GY********1 |
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公告开始日期 | 159*****89000 | 公告截止日期 | 159*****00000 |
采购单位 | 山东大学 | 付款方式 | 国产设备与家具:货到验收合格后付款 |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 无 |
预 算 | 40000.0 | ||
收货地址 | 山东大学中心校区离子束楼104 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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匀胶机 | 1 | 台 | 电工器材 |
品牌 | Minn Group(MINN) |
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型号 | M6 |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | 40000.0 |
技术参数及配置要求 | 1、腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质,抗腐蚀性;2、防堵胶功能设计(双真空腔设计) ;3、处理腔体内径不小于8.7英寸( 220毫米) ;Wafer芯片尺寸最小标配为10mm ,可选配到3 mm或5mm ;最大到6英寸( 150mm )直径圆片或5x5英寸( 125x125mm )边长方片的材料,简单可靠的载物盘更换设计;4、加速度可控范围: 100- 30000RPM/S ;5、双向旋转选项,正反旋转速度范围:土100~12000RPM ;6、无刷直流驱动马达;7、可设置马达安全模式(非真空模式),转速3000RPM加速度500RPM/S ;8、马达旋涂转速稳定性能误差不超过士1RPM ;9、工艺时间设定范围最多每步可达45小时,精度不超过0.1秒;10、配有4.3英寸全彩触摸屏高精度PLC可编程的控制器,设置点精度小于0.006% ;11、可存储不少于99个程序段,每个程序段可设置不少于50个不同步骤的速度状态;12、双重智能嵌锁,系统盖板具有智能嵌锁装置,确保操作安全;13、防腐装置;14、设有保护气体装置,旋涂过程中对旋转马达进行气流保护(也可选择取消) ;15、可升级预留端口,可扩展自动滴胶装置、自动去边装置、手动去边等选配项. |
售后服务 | 服务网点:当地;质保期限:3年;响应时限:报修后2小时;供货时间要求:成交后3天内; |
标签: 匀胶机
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