2020年中国科学院物理研究所科研仪器设备(第四批)招标公告
2020年中国科学院物理研究所科研仪器设备(第四批)招标公告
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 电感耦合等离子体刻蚀机、反应离子刻蚀机、等离子体增强化学气相沉积 | 1 | 详见技术部分 | 预算金额725万元人民币 |
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