射频功率芯片封测及微电子研发中心项目采购XRF镀层厚度测量仪单一来源采购公示

射频功率芯片封测及微电子研发中心项目采购XRF镀层厚度测量仪单一来源采购公示

一、项目信息

采 购 人:长沙市振望建设开发有限公司

项目名称:射频功率芯片封测及微电子研发中心项目采购XRF镀层

厚度测量仪

项目预算:71500.00美元

拟采购的货物说明:

编号

设备名称

参数

数量

单位

备注

1

XRF镀层厚度测量仪

M1Mistral SDD X-射线荧光测厚仪

基础系统主机系统: 阳极X射线管基50kV平板微型XRF光谱仪采用钨靶材X射线光 管,最大功率50kV;

- 原子序数从22(钛)到92(铀)的元素分析和Ti(22)-U(92)对元素测量范围电镀分析的金属进行镀层测量;

- 高性能的XFlash?硅漂移探测器,当光斑大于0.5mm,对Mn-Ka分辨率小于 150eV,30mm2感应面积;

- 支持30X放大通过摄像系统自动对焦样品相机系统精确的样品定位,放大系数30倍;

- 可选集4个准直器,可自由切换,规格可选;

- 自动X,Y,Z轴样品台;

- 仪表控制单元通过USB(笔记本电脑或工作站)连接通过USB将仪器与 工作站或者笔记本相连 ;

- 仪器尺寸:550×680×430mm3,重量50公斤仪器尺寸550×680× 430mm3,重50公斤;

- 完全X射线辐射防护装置,经政府类型批准(证书BfS23/09V ROV,2012 年10月12日修正案),根据德国X射线条例全X射线保护装置,符合德国X射 线条例规定(2012年于年10月12日修订)

设备基本性能:

载物台面积:300mm以上

测量点大小:30um以下

Z轴:120mm(自动对焦)

测量精度:1000hour

元素:P(15)toU(92)

1


采用单一来源采购方式的原因及说明:

Bruker M1 XRF镀层厚度测量系统是一套XRF镀层量测系统,该设备可测量厚度小于0.1um,测量点大小直径20um,XYZ重复精度2um,项目配置根据需求选用或定制对应的软件包。该设备为配合公司主要客户(产品占比80%以上)建设专线,是目前功率芯片国内唯一通过该客户产品认证的量产机型。

二、拟定供应商信息

名称:香港电子器材有限公司

地址:苏州市东环路129号华东大厦东翼201室

三、公示期限

2020年8月14日至2020年8月21日(公示期限5个工作日)

四、联系方式

1.采购人

联 系 人:吕先生

联系地址:长沙市望城经济技术开发区同心路1号

联系电话:****-********

2.采购代理机构

联 系 人:杨先生

联系地址:长沙市望城区文源东路199号紫鑫中央广场写字楼1532号房

联系电话:****-********

五、附件

专业人员论证意见(格式见附件)




联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

标签: 测量仪 研发中心 微电子

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