附件 分包一氦质谱检漏仪一台功能及要求： 功能：高真空设备检漏使用具体技术指标:(1) 最小可检漏率(负压法)5*10-12 mbar l/s(2) 抽气口允许最大压强 13 mbar(3) 初级泵抽速(内置)2 m3/h (4) 进气口氦气抽速 1. 8 l/s(5) 响应时间 < 0.5 秒(6) 离子源:双灯丝,可自动切换(7) 检漏仪启动时间 < 3 分钟(8) 进口法兰 DN25KF(9) 校准程序： 自动或手动（内置或外置）(10) 氦本底清零按键清零，并具有零点追踪功能(11) 设定点5个设定点:常开或常闭,3个漏率点;1个压强点;1个声讯点(12) 操作界面 高清晰彩显,TFT触摸屏(13) 语言选择 中文/英语/法语/日语/韩语/西班牙语(14) 循环检测 可编程粗抽时间/测试时间,设置报废点分包二电化学工作站 1台1设备功能： 循 环 伏 安 法 (CV)线 性 扫 描 伏 安 法 (LSV) 阶 梯 伏 安 法 (SCV) Tafel图（TAFEL） 计 时 电 流 法 (CA)计 时 电 量 法（CC） 差 分 脉 冲 伏 安 法 (DPV)常 规 脉 冲 伏 安 法 (NPV) 差 分 常 规 脉 冲 伏 安 法 (DNPV) 方 波 伏 安 法 (SWV) 交 流 （含 相 敏）伏 安 法 (ACV) 二 次 谐 波 交 流 （相 敏）伏 安 法 (SHACV) 电 流- 时 间 曲 线 (I-t)差 分 脉 冲 电 流 检 测 （DPA） 双 差 分 脉 冲 电 流 检 测 （DDPA） 三 脉 冲 电 流 检 测 （TPA）积 分 脉 冲 电 流 检 测（IPAD） 控 制 电 位 电 解 库 仑 法(BE)流 体 力 学 调 制 伏 安 法 （HMV） 扫 描 – 阶 跃 混 合 方 法 （SSF） 多 电 位 阶 跃 方 法（STEP） 交 流 阻 抗 测 量（IMP） 交 流 阻 抗 – 时 间 测 量（IMPT） 交 流 阻 抗 – 电 位 测 量（IMPE） 计 时 电 位 法 （CP） 电 流 扫 描 计 时 电 位 法 （CPCR） 多 电 流 阶 跃 法（ISTEP）电 位 溶 出 分 析 （PSA） 电 化学 噪 声 测 量（ECN） 开 路 电 位- 时 间 曲 线(OCPT) RDE 控 制（0-10V 输 出） 任 意 反 应 机 理 CV 模 拟 器2 具体要求：单 恒 电 位 仪 / 双 恒 电 位 仪 恒 电 流 仪 (Model 760D)单 恒 电 位 仪 电 位 范 围： ±10V 双 恒 电 位 仪 电 位 范 围： ±10V 电 位 上 升 时 间 : < 1 微 秒槽 压 : ±12 V电 流 范 围 : 250 mA ( 双 通 道 电 流 之 和 ) 参 比 电 极 输 入 阻 抗 : 1′1012 欧 姆 灵 敏 度 : 1′10-12 - 0.1 A/V 共 12 档 量 程 输 入 偏 置 电 流 : < 50 pA 电 流 测 量 分 辨 率 : < 0.01 pACV 的 最 小 电 位 增 量 : 0.1 mV 电 位 更 新 速 率 : 10 MHz 快 速 数 据 采 集 : 16 位 分 辨 @ 1M Hz外 部 电 压 输 入 信 号 记 录 通 道 自 动 及 手 动 iR 降 补 偿 CV 和 LSV 扫 描 速 度 : 0.000001 - 5,000 V/s电 位 扫 描 时 电 位 增 量 : 0.1 mV @ 1000 V/sCA 和 CC 脉 冲 宽 度 : 0.0001 - 1,000 sec CA 和 CC 阶 跃 次 数 : 320DPV 和 NPV 脉 冲 宽 度: 0.0001 - 10 sec SWV 频 率 : 1 - 100 kHzACV 频 率: 0.1 - 10 kHzSHACV 频 率: 0.1 - 5 kHzIMP 频 率: 0.00001 - 100 kHz (在 一 定 的 阻 抗 范 围 可 达 1M Hz)自 动 电 位 和 电 流 零 位 调 整 电 位 和 电 流 测 量 低 通 滤 波 器 , 自 动 或 手 动 设 置 ， 覆 盖 八 个 数 量 级 的 频 率 范 围 旋 转 电 极 控 制 输 出 : 0 - 10 V 电 解 池 控 制 输 出 : 通 氮 ， 搅 拌 ， 敲 击 最 大 数 据 长 度 : 128,000 点 - 4,096,000 点 可 选 择分包三 高斯计 1台 功能及要求： 可以同时显示 7 种不同的参数，磁场强度、频率、温度、最大值、最小值、峰峰值、峰谷值。具有矢量求和功能，可以总共可以显示 27 个参数。 主要特征有高分辨率、高精度、高速以及大 LCD 彩色显示屏显示、最高可到 50KHz的频率响应、测量温度和频率、自动校零、自动量程、峰峰值保持、峰谷值保持、最大/最小值保持、校准和非校准模拟输出。显示单位有高斯、特斯拉、Oe、安培/米，通信接口有IEEE‐488 和 RS‐232、RJ‐45、USB。 使用F.W.BELL 公司第六代霍尔效应探头，具有温度补偿功能、能同时测量温度（0℃～+50℃）和磁场。易于读数的 TFT 彩色 LCD 显示屏在非充足光照条件下也可以方便读取数据，显示屏可以定制以满足用户的特殊需求。8030应用范围从最基本的磁场测试到满足最敏感的三维矢量磁场测试。主机及其所有的附件须通过了 CE 认证。一、配置主机标配探头ZOA83-3208-10-T及标准配置一套二、技术指标◆量程档300mG(30uT) ；3G(300uT) ；30G(3mT) ；300G(30mT) ；3KG(300mT) ；30KG(3T) ；300KG(30T)◆分辨率1uG(0.1nT)～1G(0.1mT)（取决于探头的型号） ◆DC / AC 显示精度±0.05% /±2%◆DC / AC 频率范围DC～250Hz / 10Hz～50KHz◆DC/AC 校准模拟精度0.1% / 2% (DC～500Hz)◆DC / AC 未校准模拟输出频率范围DC～100Hz / 20Hz～50KHz◆模拟输出电压3V FS 或 10V FS 或 0.1～9.9V ◆输入阻抗<100ohms◆连接端子标准 BNC◆温度系数±(0.02%±1)/℃ ◆操作温度0℃～+50℃◆存储温度‐20℃～+60℃ ◆显示面板VGA 分包四POD针盘式摩擦磨损试验装置1套 功能及要求： 功能：用于表征具有纳米结构的离子镀薄膜的摩擦学特性的精密膜系研究。满足：（1）此设备用于研究（涵盖微弧离子镀功能的）磁控溅射离子镀膜系的摩擦学特性；测量各种薄膜常温、不同液体介质或干摩擦条件下的摩擦力、摩擦系数，并间接评价其磨损率；（2）用于研究所有固体材料间的摩擦力、摩擦系数；要求：构成整机的结构或特性要求，（1）整个系统需满足南京工业大学提出技术要求，（2）测试过程中可以控制：测试时间、接触压强、相对移动速率、不同液体介质摩擦磨损环境等。一、配置POD针盘式摩擦磨损试验机由：1、摩擦磨损试验机主体：摩擦磨损试验平台，计算机操作平台，加载系统，调速系统，摩擦磨损参数采集系统，冷却系统组成。2、不同液体介质供给系统。3、加热与控温系统（＜300℃）（选配）。4、原位摩擦磨损图像采集系统（选配）。5、实验参数计算机控制系统：可实现对摩擦磨损实验的测试时间、接触压强、移动速率、温度等参数设置和过程自动控制。6、实验结果计算分析系统。二、技术指标1、试样尺寸：φ38×4mm 2、最大测试直径：φ30mm；3、最大载荷：100N；4、测试精度：0.2%Fs5、主轴转速：30～1000rpm：6、介质供给量：0～10mL/min；7、加热温度：0～300℃；分包五超声清洗系统1台 本清洗系统是三槽式超声波清洗一体机，技术要求如下：一、第一槽：1．槽内尺寸；300×150×150（mm），（材料为304不锈钢，冲制拉升槽，无焊缝）。2．超声波功率：200W，采用它激式电路，有短路保护、热保护功能。3．超声波频率：40KHZ。4．加热功率：150W，（薄膜式加热，带保护功能）。5．温控器：采用“欧姆龙”数显式温控仪。6．超声定时器：采用“欧姆龙”指针式定时器。7．槽体底部有放液口一只。8．槽内配烧杯托架一个。9．不锈钢盖一只。二、第二槽：1．槽内尺寸；300×150×150（mm），（材料为304不锈钢，冲制拉升槽，无焊缝）。2.超声波功率：200W采用它激式电路，有短路保护、热保护功能。3.超声波频率：40KHZ。4.加热功率：150W，（薄膜式加热，带保护功能）。5.温控器：采用“欧姆龙”数显式温控仪。6.超声定时器：采用“欧姆龙”指针式定时器。7.槽体底部有放液口一只。8.槽内配烧杯托架一个。9.不锈钢盖一只。三、第三槽：1.槽内尺寸：330×300×150（mm），（材料为304不锈钢，冲制拉升槽，无焊缝）。2.槽底部有排水口。3.槽底部配不锈钢网架一只。4.配不锈钢盖一只。5.槽旁边安装进水龙头一只。6.槽边配置纯水水枪一把。7.槽边配吹氮气抢一把。四、整机架构：1.整机顶部有排风口排至室外。 2. 排风风机采用台湾产，静音式排风机，噪音约在45-50dB。3. 在工作台前上方安装照明灯一只。4. 整机机架采用40×40不锈钢方管组成。 5. 整机外壳采用304不锈钢拉丝板6. 整机底部有4个移动轮和调平脚。 五、电器控制系统：1.控制面板在机器的前上方，操作方便。2. 控制箱内配线槽外部加护槽、护管。3.外部所有的电线接口位置合理，不可在容易漏水的部位。4.重要部件选用国内名牌。5.继电器、温度数显和定时器采用“欧姆龙”品牌。分包六 涂层附着力自动划痕仪1套功能及要求： 涂层附着力自动划痕仪,是利用声发射及摩擦力检测技术，自动检测出材料表面的各种硬质或较软涂层与基底的结合强度。 该方法于1997年被中华人民共和国机械工业部定为机械行业标准（JB/T********）。一、配置试验主机一台； 自动加载控制箱一台； 联想商用计算机一套；硬盘500G、内存2G、DVD刻、独立显卡、19寸液晶显示器工件夹具 二幅；体式显微镜 一台；金钢石压头 一只；(锥角为120°、尖端半径R=0.2)；试样铜块 一个；软件说明书光盘、纸质 各一份；防尘罩 一个；配用工具 三套；二、技术指标测量方式：1.声发射测量方式2.摩擦力测量方式 3.静压测量方式4.恒载荷测量方式加载范围：0～200N 涂层厚度检测范围：0.2～150μm划痕速度：1～10mm/min加载速率： 10～100N/min 划痕长度范围：2～6mm划痕往复次数：1～100标准压头：金刚石 、锥角120°、尖端半径R=0.2分包七 射频电源 1套一、配置该电源每套包含以下5件产品，这五件产品必须组合在一起方能够成为一台完整的，能正常功能的射频电源。组成如下图所示： 该电源主要功能是向真空设备提供射频输出，完成所需工艺。该电源主要用于半导体芯片制造、太阳能电池薄膜镀制及其它特殊薄膜制造。详细配置如下：ItemPart No.Product DescriptionQtyRF 1KW Package1********CESAR 1310, RF, C3, 1KW, 230V, AEUSR/RS-232 - Cesar 1310 射频电源1台2*******-***NAVIO SP 13.56MHZ, 1KW, N, 7/16R, 15PIN - Navio 1kA 自动匹配器1台3********XXCABLE ASSY, COAX, RG-213, 3.75M, N TO N - 3.75m 功率线缆，连接电源与匹配器1根4********CABLE ASY, COAX, RG-393, 1.0M, HN TO 7/16 - 1m 功率线缆，连接匹配器与阴极1根5********XXCABLE 15 PIN DSB SHD 26AWG M-M 10FT MOLD - 10英尺控制线缆，连接电源与匹配器1根二、技术指标1********CESAR 1310, RF, C3, 1KW, 230V, AEUSR/RS-232 - Cesar 1310 射频电源该产品为射频发生器，是射频电源的核心部件。其主要的作用是将单相220V/50~60Hz交流电转换为射频（13.56MHz）输出，最大输出功率1千瓦。主要技术参数如下：频率: 13.560Mhz, +/- 0.005 %最大输出功率(W): 1000W, 50 Ohm负载最小输出功率(W): 10W, 50 Ohm负载反射功率极限(W): 小于200W阻抗（Ohm）：50 Ohm射频输出接头：N-type ( fem. )冷却方式：风冷输入电源要求：单相，230V (187-253V), 50/60Hz, 6.5A, 1.490千瓦物理尺寸：19”机柜安装，19.5公斤，483(W)x500(D)x88(H)2*******-***NAVIO SP 13.56MHZ, 1KW, N, 7/16R, 15PIN - Navio 1kA 自动匹配器该产品为自动匹配器，是射频电源里的重要部件，其主要作用是感应真空室内阻抗变化，通过自动/手动调节真空电容，将阻抗调节到50欧姆，达到射频发生器的设计阻抗。主要技术参数如下：控制方法：全数字式操作频率：13.56Mhz最大工作功率：1000W最大反射功率：4w或者前向功率的1%，取大者。阻抗调节时间：最长时间头到头3秒，优化后小于2秒。阻抗调节范围：33+j60, 64-j49, 0.5-j66, 0.2+j52 冷却方式：空冷，冷却空气流量120立方米/小时输入电源要求：单相，100-240, 50/60Hz, 1.4A物理尺寸：15cmX24.5cmX37.4cm, 6.6kg********XXCABLE ASSY, COAX, RG-213, 3.75M, N TO N - 3.75m 功率线缆，连接电源与匹配器该产品为RG213电缆，长度3.75m，两端N型头，主要用于射频发生器与自动匹配器之间的连接，传送功率。********CABLE ASY, COAX, RG-393, 1.0M, HN TO 7/16 - 1m 功率线缆，连接匹配器与阴极该产品为RG393电缆，长度1m，主要用于匹配器和真空室外的电极之间的连接，将功率输出到阴极上。********XXCABLE 15 PIN DSB SHD 26AWG M-M 10FT MOLD - 10英尺控制线缆，连接电源与匹配器该产品为15PIN 数据线缆，长度10英尺，主要用于射频发生器与自动匹配器之间的连接，控制信号。分包八水冷强碱性直冷式冰水机组 1套1 制冷量:27430 Kcal/h 2 消耗功率:8.1 Kw 3 冷冻水流量:5.5 m3/h4 重量≤300 Kg 5 尺寸:≤(L*W*H)1380x850x12006 水塔：15T；消耗功率:0.37 Kw；水流量:12 m3/h7 冷却水泵：耗功率:1.1 Kw；水流量:10 m3/h；扬程L=20m；8 过滤泵：滤材：20*8支；过滤量180L/min；泵浦马达 2HP；出入口直径409 整机在正常使用情况下保用保修一年；10 设备主要使用配件：进口日本“大金”或美国“谷轮”压缩机、美国艾可牌冷冻配件、韩国LG电控器材、中文显示操作控制面板；设备设有高低压开关，马达过载保护，缺逆相保护，安全阀等保护装置；蒸发器钛管材质