高真空多靶磁控溅射镀膜系统（JJ2020001258）采购公告
高真空多靶磁控溅射镀膜系统（JJ2020001258）采购公告
| 项目名称 | 高真空多靶磁控溅射镀膜系统 | 项目编号 | JJ********58 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 159*****06000 | 公告截止日期 | 159*****00000 |
| 采购单位 | 南开大学 | 付款方式 | 货到后40个工作日内付款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 无 |
| 预 算 | 无 | ||
| 收货地址 | 南开大学津南校区材料科学与工程学院 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 高真空多靶磁控溅射镀膜系统 | 1 | 台 | 无 |
| 品牌 | 泰科诺 |
|---|---|
| 型号 | JCP500 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | 无 |
| 技术参数及配置要求 | 系统主要由溅射室、3只3英寸磁控溅射靶、2台直流脉冲溅射电源、1台射频电源、1台脉冲偏压电源、旋转基片台及加热、真空系统、气路系统、水路系统、PLC+触摸屏半自动控制系统等组成。 |
| 售后服务 | 按国家法定或行业要求提供售后服务。 |
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