广西大学-竞价公告(CB105932020000342)
广西大学-竞价公告(CB105932020000342)
申购单号:CB***************
申购主题:PVD薄膜制备及气路系统
采购单位:广西大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:广西壮族自治区/南宁市/西乡塘区/****
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | PVD薄膜制备及气路系统 | 1.0 | 套 |
| 品牌 | 苏州圆芯光机电 | ||
| 型号 | Sputtering500CD | ||
| 规格参数 | 1、PVD薄膜制备：采用磁控溅射技术，要求能够用于镀制各种单层膜、多层膜、掺杂膜系，可镀金属、合金、化合物、半导体、陶瓷膜、介质复合膜和其它化学反应膜。★2、基本配置要求：基片架Φ3英寸；基片可旋转、可加热（室温～800℃）、可升降；三支Φ2英寸圆形平面磁控溅射靶（其中一只铁磁靶）；配装电动高真空闸板阀、角阀、靶挡板、电脑复合真空计、电脑温控仪；镀膜室内，配置真空腔体烘烤系统1套；射频电源2台： 500W、13.56MHz、可自动调谐；带通讯接口（485接口，MODBUS协议）；直流溅射电源2台：500W；带通讯接口（485接口，MODBUS协议）；质量流量控制器3台（100sccm、200sccm、50sccm。对应Ar、 N2、O2）（北京七星华创）。★3、主要技术参数：基片架Ф3英寸，基片加挡板；基片加热器温度：室温～800℃±1℃。温度可用电脑编程控制，可控可调；基片架公转速度2～30转/分，可控可调；基片架可加热、可旋转、可升降；靶面到基片距离60～100mm可调；Ф2英寸圆形平面靶，磁控溅射靶可摆头，配气动靶挡板；工艺气体采用匀气环，气场更均匀，镀膜更均匀。4、基片加热器的技术要求：采用进口铠装加热丝，由于通电加热的金属丝不暴露在真空室内，所以高温加热过程中不释放杂质物质，保证薄膜的纯净度。将铠装加热丝均匀排布在两片不锈钢炉盘内，扣紧密封，加热丝先对不锈钢炉盘加热，不锈钢炉盘起到均温器的作用，产生均匀的温场，然后再对基片加热，避免了斑马线现象，镀膜更均匀。 | ||
| 质保及售后服务 | 1、供应商投标时必须提供所报设备的品牌和型号（品牌和型号均需提供），如不填写视为不满足；2、所有设备要求免费送货上门、免费安装调试、保修期内免费上门保修；3、设备必须原厂包装，必须当用户面拆封；4、原则上不接受物流和快递送货。如采用物流和快递送货的必须在报价说明中注明，申购用户认可的，方可成交；5、其他按行业标准提供服务； | ||
标签: 大学
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