绍兴文理学院分子束外延设备配套系统供货项目征求意见经绍兴市政府采购管理部门批准，绍兴市公共资源交易中心将于近期就绍兴文理学院分子束外延设备配套系统供货项目进行公开招标采购。现将有关技术需求公布如下,并征求意见。一、征求意见范围：1、是否出现限制品牌、型号；2、是否出现明显的倾向性意见和特定的性能指标；3、影响政府采购“公开、公平、公正”原则的其他情况。二、征求意见的回复：各供应商及专家提出修改意见和建议的，请于2012年8月1日下午17时前（节假日除外）将书面材料密封后送至绍兴市公共资源交易中心政府采购科。同时将书面材料的电子文档发送至以下信箱：ch********@163.com。联系电话：****-********联系人：陈虹。地址：迪荡新城惠利街20号鼎盛时代大厦4楼。三、合格的修改意见和建议书要求：1、供应商提出修改意见和建议的，书面材料须加盖单位公章和经法人代表签字确认，是授权代理人签字的，必须出具针对该项目的法人代表授权书及联系电话。2、专家提出修改意见和建议的，须出具本人与该项目相关专业证书复印件及联系电话。3、各供应商及专家提出修改意见和建议内容必须是真实的，并附相关依据，如发现存在提供虚假材料或恶意扰乱政府采购正常秩序的，一经查实将提请有关政府采购管理机构，列入不良行为记录。四、拟采购项目货物清单及技术要求：01标分子束外延设备配套系统1套（预算金额：60万）本项目是二期设备建设项目，因此所投产品必须与前期分子束外延系统有机结合。一、进样室进样室采用手动开门关门，一次可以放进四块样品，通过磁力传递杆的样品叉可以把一块样品送到蒸发室的样品台上。二、蒸发沉积室超高真空获得设备一套1. 国产离子泵、升华泵系统，极限真空度6.6×10-8Pa，漏率小于5×10-8PaL/S；搭载在用户已有超高真空蒸发沉积室上，标准尺寸法兰接口，连接用金属密封的CF标准法兰。所有连接处焊机均采用适合超高真空工艺标准要求的氩弧焊，所有内外表面均要求喷玻璃丸后进行电解抛光处理。2. 分子泵和电源，选用抽速600L/S分子泵和电源3. 机械泵与电磁阀组件，抽速4L/ S4. 钛升华泵及控制电源：接口法兰CF150, 升华面液氮冷却。采用进口钛钼丝，3组升华器。5. 三极溅射离子泵及控制电源(选用国产离子泵及控制电源)抽速400L/S，CF100超高真空闸板阀：（接通过管路接分子泵、国产）。CC-150超高真空闸板阀：（离子泵与超高真空室之间的阀，选用国产超高真空闸板阀）1只，超高真空金属真空规、计，数字显示，测量高真空，金属规管测量。低真空测量采用进样室用的真空计的低真空部分。6. 工作气体进气阀三、国产分子束源炉（含加热电源）5套分子束源炉均布在一个锥体上，其中心线与样品法线夹角30°。炉口到样品表面距离约200mm。分子束源炉与水冷套、快门、4芯陶瓷封接引线安装在一个CF50法兰上。坩锅（氮化硼坩埚），CF50法兰接口，坩埚容量约：30CC，加热器材料选用0.05-0.1mm高纯钽成型，支撑骨架和绝缘件用氮化硼成型，加热器四周和底部有多层热屏蔽层。最高加热温度1300℃,显示精度±1℃。日本产高精度控温器，有计算机通讯接口。采用钨铼型测温热偶，每个分子束源炉外部有具有水冷屏蔽套。快门由真空磁力耦合转轴执行，步进电机驱动。步进电机电源有计算机通讯接口。四、高能电子衍射仪（RHEED）（国产）一套1. 技术要求：电子枪及高压电源，加速电压25KV，束流100μA，束斑0.5mm荧光屏：通光口径Φ100。 荧光屏挡板组件2. 高能电子衍射仪（RHEED）CCD图像处理系统，利用电子衍射光斑随着生长速率周期性振荡的特性，可以对生长速率实现原子量级的监测和控制。该系统由摄像头、计算机、硬件接口、软件等组成五. 石英晶体测厚仪一套（国产）技术指标：监测膜厚显示范围：0~99μ9999?；厚度分辨率：1?；速率显示分辨率：0~9999.9 ?；控制精度：1 ?；监测时间显示范围：1分~99小时。晶振仪与腔体连接采用无氧铜垫。六、备件1.各种规格的螺栓、螺母、垫片 备3件2.各种规格的无氧铜垫片每种规格3个3.氟橡胶密封圈各备2个七、严格执行超高真空卫生工艺规范，真空室内的所有零件（包括真空室腔体）均进行电解抛光、去离子水超声清洗、高温真空除气等表面处理工艺。八、附件1.计算机一台：英特尔酷睿四核i5-2400（3.10GHz、4 核）/内存4GDDR3/500G(SATA)/DVDRW/512M独立显卡/19吋正屏显示器。2. 打印机一台：激光黑白打印机A4幅面，★硒鼓打印标准2000张以上。九、其他：1、需与原分子束外延系统产品配套使用。2、质保期：至少包修一年。3、到货期：中标后一个月内到货安装调试完毕。4、付款方式：签订合同时缴纳中标额5%的履约保证金，以后转为质保金，质保期满后退还。货到安装调试完毕验收合格后付95%。五、评分方法：本次评标采用最低价中标法，即在最大限度满足招标文件实质性要求前提下，由评标委员会对各投标人报价、投标设备技术参数与功能配置、品牌、市场占有率、售后服务承诺等方面进行符合性评审。按总有效报价从低到高顺序推荐确定中标候选人。六、投标供应商的资格要求1、符合政府采购法第二十二条之供应商资格规定。2、具备本中心政府采购供应商会员资格。3、多家具有投标资质的关联企业只接受其中一家参加招投标活动。绍兴市公共资源交易中心2012年7月30日