CVD镀膜系统（HITBX-2020000044）采购公告

招 标 正 文
 

CVD镀膜系统（HITBX-2020000044）采购公告


项目名称CVD镀膜系统项目编号HITBX-********44
公告开始日期159*****75000公告截止日期160*****00000
采购单位哈尔滨工业大学付款方式无
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后30个工作日内到货时间要求签约后90个工作日内
预 算480000.0
收货地址黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号，材料楼
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
CVD镀膜系统1套无
品牌无
型号无
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算480000.0
技术参数及配置要求一、主要技术指标：极限真空度：≤5x10-3 Pa抽速：30分钟，优于1x10-2Pa检漏漏率：≤10-6Pa.l/s工作真空度：10～300Pa工作气体流量：0～1000SCCM系统主要由真空反应室、坩埚支架及滑台，旋转基片台及滑台、外加热组件、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组1．反应室：1.1、真空室为单管卧式热壁型；有效尺寸约为：ф100mm×1400mm，反应室是用来沉积薄膜的工作室，它由进气法兰、固定法兰、石英反应管和后法兰等组成。1.2、石英反应管通过外圆密封固定在进气法兰和后法兰上，工艺气体装在进气法兰上，整个反应室通过后法兰和固定法兰被连接在炉体柜的骨架上，且进气法兰（坩埚支撑法兰），带有导轨可整体移出，方便更换坩埚及原料；旋转样品台法兰带有导轨可整体移出，方便更换样品。2、外加热组件：开启式外加热组件（位于滑轨上）2.1、加热元件：NiCrAl电阻丝2.2、加热区域：长900mm2.3、温区：3个，各300mm长2.4、恒温区域：150+200+150mm2.5、工作温度：最高1200℃（<1h），连续工作200℃-1000℃2.6、最大升降温速率：≤30℃/min2.7、热电偶：3个，K型2.8、控温方式：模糊PID控制和自整定调节; 智能化30段可编程控制; 超温和断偶报警功能控温精度：±1℃3、感应CVD系统：1套：(位于滑轨上)3.1、感应线圈；位于石英管外部3.2、自动匹配射频电源(功率≥500W):1套
售后服务质 保 期 :1年;

报价地址：https://www.yuncaitong.cn/publish/2020/09/10/20KEW3RVUXSYU0TY.shtml

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

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