西安工业大学光电超净实验室设计招标公告
一、 项目内容
西安工业大学光电超净实验室（包含：器件超净实验室和薄膜超净实验室）净化工程及设备一、二次配管工程的设计。

二、 项目施工地点

工科组团光电附属楼（1A）一层整层和光电楼（1B）一层东头。

三、 项目施工环境

工科组团光电附属楼（1A）一层建筑面积约800平米，净化面积600平米，其空调机组及其室外机组、纯水站、空压站、真空站、冷却水机组等动力间（约100平米，需搭建）放置在该楼北侧。

工科组团光电楼（1B）一层东头部分建筑面积约300平米，净化面积250平米，其空调机组等动力间（已有房间）置于楼内。

四、 投标人资质要求

1、投标人必须具有中华人民共和国工商行政管理部门颁发的企业法人营业执照，要求具有工程设计综合甲级资质或者电子相关行业乙级及以上设计资质，要求具有微电子、半导体等行业洁净厂房的设计经验。

2、拟派项目经理须具有国家一级注册建筑师执业资格，或具有高级技术职称、规模相当的同类项目设计经历和业绩；

3、参加设计的专业负责人(建筑、工艺、电气、给排水、暖通、动力、概算等)必须具有类似微电子、半导体洁净厂房设计经验。

五、项目参数要求

光电附属楼（1A）一层要求设计整体千级、局部百级的恒温恒湿超净实验室，温度要求20±2℃，湿度要求50％±10％RH。在全负荷运转条件下，工作区域噪声应低于60dB。光电楼（1B）一层东头要求设计为整体万级洁净环境。

六、项目具体要求

1、光电附属楼一层建议采用恒温恒湿空调机组，机组应配有混合段、初效段、表冷段、加热段、加湿段、风机段、中效段、送风段，并根据环境和实验室设备情况计算空调的风量、冷量、电加热功率、加湿量等参数。

2、通风系统应采用至少四级过滤装置，建议分别在机组新风口、空调机混风口、空调机送风口、高效终端。

3、超净室内顶部建议采用龙骨、FFU（Fan Filter Unit）、同尺寸盲板组合的结构，要求可对FFU进行小范围调整，以保证设备及工作区域位于FFU的下方。

4、超净室墙壁的设计要求采用净化专用50mm厚岩棉夹心彩钢板，要求采用手工彩钢板加中字铝的固定方式。

5、器件超净实验室要求采用孔板高架地板、标准垂直层流的方式。大型设备可做混凝土底座，其上表面与架空地板等高，并且底座表面用环氧树脂等无尘材料进行净化处理。

6、冷却水、真空、压缩空气、纯水主管道的设计要求距大多数设备是最近的，并预留一定数量的三通接口，增加设备时方便从三通处进行分支。

7、为节省顶部空气静压箱的空间，主送、回风管道可以走洁净区域以外的灰区和参观走廊顶部。

8、设计中FFU的规格建议采用1200×600（mm），非实验时段可将相邻的两台FFU关掉一台，使超净实验室处于“待机”状态，以节能减耗。

9、器件超净室需在洁净室北面空地（光电附楼1A楼北侧）上的冷水机房南侧设计面积约100平米的动力间，包含恒温恒湿空调机组、空压站、真空站、纯水站、冷却水站。要求动力间顶部承重，放置空调的室外机组。

10、该实验室中的2台PECVD和１台MOCVD工艺气体包含易燃易爆剧毒气体，其特气柜、尾气处理区域应单独隔出，设计成负压，并设计有气体泄露报警系统。

11、附件提供设备清单及土建图纸，其它未尽事宜可当面咨询。

七、时间要求

发标时间：2012年8月3日下午14:00起。

投标截止时间：2012年8月13日中午12:00止。

开标时间：2012年8月14日中午12:00

设计周期：2012年8月15日起2012年9月20日止。

八、联系人：

技术咨询联系人：刘老师 电话： 135*****003