信息来源：东莞市政府采购网发布日期：2020年09月25日

• 为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将松山湖材料实验室2020年9（至）10月采购意向公开如下：

• 序号	采购项目名称	采购需求概况	落实政府采购政策情况	预算金额（万元）	预计采购时间	备注
  1	半自动光刻机	计划购置一台半自动光刻机设备，该设备的性能指标及实验要求须满足如下条件：1、曝光分辨率高于1μm；2、曝光样品尺寸兼容4-8英寸；3、1μm线条线宽均匀性优于±10%；4、双面套刻功能；5、正面套刻精度高于±0.5μm；6、背面套刻精度高于±1μm；7、该设备运行稳定、可靠，能够长时间稳定工作；8、该设备应易于维护和维修，并能提供优良的售后服务和强大的技术支持；9、该设备应具有安全保护功能，在保护操作者人身安全、外延片生产安全等方面应有相应的安全防护措施。	遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策	400.00	2020年12月
  2	XeF2气相刻蚀机	计划购置一台XeF2气相刻蚀机，该设备的性能指标及实验要求须满足如下条件：1、能处理最大晶圆尺寸达8英寸,可以向下兼容；2、腐蚀Si材料速率超过1微米/分钟,均匀性小于10%；3、刻蚀Si时对SiNx以及SiO2选择比超过100:1；4、可以选择性腐蚀Si、SiGe以及Mo等；5、该设备运行稳定、可靠，能够长时间稳定工作；6、该设备应易于维护和维修，并能提供优良的售后服务和强大的技术支持；7、该设备应具有安全保护功能，在保护操作者人身安全、外延片生产安全等方面应有相应的安全防护措施。	遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策	200.00	2020年12月
  3	在线式桌面SEM	计划购置一台在线桌面电子扫描显微镜，该设备的性能指标及实验要求须满足如下条件：1、SE分辨率优于1.2nm（加速电压30kV）；优于3.0nm（加速电压1kV）；2、探针电流不小于200nA，且高真空和低真空下都能达到此最大束流；3、可放入的最大样品直径不小于100mm，最大样品高度不低于50mm；4、放大倍率：底片倍率10-60万倍；显示器倍率30-150万倍；5、该设备运行稳定、可靠，能够长时间稳定工作；6、该设备应易于维护和维修，并能提供优良的售后服务和强大的技术支持；7、该设备应具有安全保护功能，在保护操作者人身安全、外延片生产安全等方面应有相应的安全防护措施。	遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策	250.00	2020年12月
  4	电子束蒸发台	计划购置一台电子束蒸发设备，该设备的性能指标及实验要求须满足如下条件：1、最大晶圆尺寸：6"及以下；2、衬底最高加热350℃，连续可控；3、电子枪功率不小10kW,坩埚数量不少于6个；4、具备热蒸发模块；5、设备极限真空≤3e-5Pa；6、不均匀性：≤±5%。	遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策	200.00	2020年12月
  5	原子层沉积设备	计划购置台原子层沉积设备，该设备的性能指标及实验要求须满足如下条件：1、前驱体：≥6路；2、目标制备材料：Ta2O5、Nb2O5、MgO、W、Pt等介质及金属薄膜材料；3、加工晶片尺寸：8英寸；4、最高加热温度：≥450℃；温度控制精度：	遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品、支持监狱企业发展等政策	400.00	2020年12月

• 本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

发布人: 松山湖材料实验室

发布时间: 2020年09月25日