深圳大学-竞价公告(CB105902020001087)
深圳大学-竞价公告(CB105902020001087)
申购单号:CB***************
申购主题:匀胶旋涂仪
采购单位:深圳大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:广东省/深圳市/南山区/****
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 匀胶旋涂仪 | 1.0 | |
| 品牌 | 武汉迈可诺 | ||
| 型号 | WS-650Mz-8NPPB | ||
| 规格参数 | . 拥有马达气体密封系统，胶液不进入马达而损毁制膜精度；2. 10mm~200mm 范围内，无需更换托盘，避免由于频繁更换片托导致托盘间隙松动；3. 转动速度至少满足 0-12,000rpm，4. 旋涂加速度不小于 12,000rpm/sec；5. 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%；6. 工艺时间设定范围至少满足 1-5999.9sec/step ，精度不超过 0.1s；7. 配有高精度 PLC 可编程的控制器，设置点精度小于 0.006%；8. 可存储不少于 20 个程序段，每个程序段可设置不少于 51 个不同步骤的速度状态；9. 分辨率小于 0.5RPM，重复性误差小于±0.5RPM，具有国际 NIST 标准认证，并且无需再校准；配有 SPIN3000 操作软件，通过蓝牙无线连接，可远程控制系统，适用于手套箱，湿站操作环境；10. 晶圆对准器 | ||
| 质保及售后服务 | 一年质保 | ||
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