微纳米结构电学性能测试系统　

一、项目名称：微纳米结构电学性能测试系统

二、招标编号：*******

三、招标人：苏州大学实验室与设备管理处

地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼1012室

邮编：215021　　　　　　　传真：****-********

联系人：罗老师 　　 电话：****-********，********

电子邮箱：lrb998@suda.edu.cn

技术联系人：王老师 电话：****-******** 186*****887

电子邮箱：pbwang@suda.edu.cn

四、招标货物品名、数量、主要性能参数基本要求

第一包：微纳米结构电学性能测试系统　　1套

微纳米结构电学性能测试系统包含半导体参数分析系统和微分电导测量系统以及配合实验室现有四探针测试仪的纳米探针台。现有四探针测试仪为Cascade Microtech生产的M150型探针测试平台，配备4个磁性手动探针座，主要用于半导体性能、MEMS器件、失效分析等测试。

主要技术指标：

(一)半导体参数分析系统：

1.能提供精确的I-V测试，具有0.1fA的电流检测灵敏度；

2.最大电压源：210 V；

3.最大电流测量值：1 A；

4.具有交流阻抗测试功能，扫描频率在1kHZ-10MHZ，扫描电压分辨率为1.0 mV；

5.具有脉冲I-V测试功能，最小脉宽10ns，电流测量分辨率10pA；

6.具有多测量线缆功能；

7.具有不同测试单元自动切换功能；

8.提供纳米技术工具包；

9.软件终身免费升级。

（二）微分电导测量系统

1.电压范围：10nV～100V；

2.支持脉冲测量,脉冲宽度最低50μs；

3.电阻范围：10nΩ～100MΩ;

4.电流范围：2nA～100mA；

5.交流电范围：1pA～100mA，电流最小脉宽5μs

6.可输出标准波形和任意波形。

（三）基于现有Cascade四探针台测试系统，与半导体参数分析系统结合，对现有探针台进行相关配件升级，提供接口互联线缆，实现探针台脉冲测试功能。

五、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试及验收以及售后服务等相关商务要求，按照《苏州大学公开招标采购仪器设备投标人须知》第22条中的要求执行。

六、招标文件价格：标书每份人民币500元（可投标时交纳），售后不退。

七、投标截止时间：2012 年9月26日8：45。各投标人在投标前，须认真阅读《苏州大学公开招标采购仪器设备投标人须知》和本招标公告，完全了解并接受其所有条款及要求。并在截止时间之前将投标文件一式5份（其中正本1份，副本4份）送达招标人处。

八、开标时间：2012 年9月26日8：45。

九、未尽事宜，按《苏州大学公开招标采购仪器设备投标人须知》中的相关条款执行