中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目第二十八批--晶圆清洗机国际招标公告(2)
中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目第二十八批--晶圆清洗机国际招标公告(2)
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 全自动晶圆划片贴膜机 | 1 | 全自动晶圆划片贴膜机/Auto Wafer Mount | / |
2 | 全自动晶圆划片贴膜机 | 2 | 全自动晶圆划片贴膜机/Auto Wafer Mount | / |
3 | 晶圆清洗机 | 3 | 1.实现55纳米级别清洗2.去除颗粒能力强 | / |
4 | 等离子体聚合物刻蚀机 | 1 | 1.Bosch polymer低温快速去除,无残留(≦4 minutes @ 180 deg C, or ≦ 7 minutes @ 150 deg C)2.无形貌变化和侧壁损伤3.CD loss <5% | / |
5 | 全自动晶圆切环机 | 1 | 全自晶圆切环取环机/Auto Laser Ring Cut | / |
6 | 全自动晶圆揭膜机 | 3 | 全自动晶圆揭膜机/ Auto wafer De-taper | / |
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