东南大学-竞价公告(CB102862020001708)
东南大学-竞价公告(CB102862020001708)
申购单号:CB***************
申购主题:匀胶旋涂仪（配套真空泵系统）
采购单位:东南大学
报价要求:
发票类型:增值税普通发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后14天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:江苏省/南京市/江宁区/****
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:（1）物流包含送货到实验室的所有费用，甲方不负责装卸货及送货上楼的费用；（2）需乙方人员安装调试，达到甲方的书面要求申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 匀胶旋涂仪（配套真空泵系统） | 1.0 | 套 |
| 品牌 | 美国LAURELL | ||
| 型号 | WS-650MZ-23NPPB | ||
| 规格参数 | 技术参数：1、腔体尺寸：9.5英寸 (241 毫米)；2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直径的材料，方片125x125mm；3、转动速度：0-12,000rpm， 4、旋涂加速度：0-12,000rpm/sec；5、马达旋涂转速：稳定性能误差 < ±1%；6、转速调节精度：<0.2rpm，重复性< 0.2rpm；7、工艺时间设定：1-5999.9 sec/step 0.1 精度；8、*匀胶机材质：NPP天然聚丙烯材质，抗腐蚀性和抗化学物性，美观大方；9、* 高精度数码控制器：PLC控制，设置点精度小于0.006%。10、程序控制：可存储20个程序段，每个程序段可以设置51步不同的速度状态；11、*分辨率：分辨率小于0.5转/分，可重复性小于±0.5转/分，美国国家标准技术研究院（NIST）认证过的，并且无需再校准！12． 电子绝缘负载双保护装置；13． 嵌锁的安全盖板；14． 防腐装置；15． *保护气体装置：旋涂过程中可以充氮气和压缩气体，对旋转马达进行气流保护；16．配套真空泵系统：无油型 220~240伏交流，50/60赫兹；17．真空泵参数：25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)，抽速：4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟) 。18、* 配套分析软件：SPIN3000操作分析软件；19、原装进口水平测试仪；20、两袋密封圈；21、废液接收单元； | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
标签: 大学
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