（沈阳师范大学场发射透射电子显微镜采购项目）招标公告
项目概况

沈阳师范大学场发射透射电子显微镜采购项目招标项目的潜在供应商应在辽宁政府采购网获取招标文件,并于2020-11-26 09:00（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况
项目编号：JH20-210000-18514
项目名称：沈阳师范大学场发射透射电子显微镜采购项目
包组编号：001
预算金额（元）：7,300,000.00
最高限价（元）：7,300,000.00
采购需求：查看

1. 工作条件

1.1电力供应：230V( 6% / -10%)，50Hz( /-1%)

1.2工作温度：18°C-23°C

1.3工作湿度：< 80%@ 20°C

1.4磁场：水平 <80 nTp-p, 垂直水平 <100 nTp-p

1.5安装条件：设备接地线电阻 ≤0.1欧姆

1.6仪器运行的持久性：仪器可连续使用

2. 设备用途：

2.1 本系统主要用于各种材料的二维三维快速成像和化学分析，系统由电子光学系统、高压系统、真空系统等部分组成。

3. 技术规格

3.1分辨率：

3.1.1点分辨率：≤0.25nm

★3.1.2信息分辨率：≤0.12nm

★3.1.3 STEM分辨率：≤0.16nm

3.2加速电压：

3.2.1加速电压：20kV-200kV；加速电压连续可调

3.2.2加速电压全程范围内切换仅需通过软件完成

3.2.3加速电压稳定度：0.8ppm/10min加速电压：

3.3电子枪：

★3.3.1超稳定高亮度电子枪（X-FEG）： 1.8x 109A/Cm2 srad (@200Kv)

3.3.280KV自动合轴

3.4束流和束斑：

3.4.1总的电子束束流：> 50nA

3.4.2束流/束斑尺寸≥1.5nA @ 1nm, ≥0.4nA @ 0.31nm (all @ 200 kV)

3.4.3束斑漂移：<1nm/min

3.5放大系统：

3.5.1 TEM 放大范围：25×–1.5M （启用相机图像增强功能）

3.5.2放大倍数重复性：<1.5%

3.6电子衍射

★3.6.1 最大会聚角 (CBED)：100mrad

3.6.2最大衍射角：24°

3.7相机长度：最小 ≤14mm；最大 ≥5700 mm

3.8物镜：

★3.8.1物镜具有宽阔的极靴空间，大于5mm，具备扩展EDX的三维分析能力，保证样品杆或原位样品杆充足的旋转角度

★3.8.2采用恒功率透镜设计。透镜的温度保持恒定，无论透镜线圈的激励电流如何变化，工作模式 (TEM/STEM，放大倍数等)如何变化；透镜的温度也不随时间变化而变化。

3.9样品台：

3.9.1 五轴CompuStage样品台，可存储和复位5维 (x, y, z, a, b) 坐标

3.9.2样品移动范围：X, Y ±1mm；最小移动步长 4 nm; Z: ±0.375 mm, 最小移动步长 36 nm, 样品台回复精度 ￡0.5mm (x，y), ￡0.5° (atilt);

3.9.3 使用压电陶瓷样品台(Pizeo-Stage)，可获得更高的精度，漂移0.5nm/分钟，线性定向的漂移可用压电陶瓷的移动来抵消，最小移动步长< 20 pm。

3.9.4 单倾样品杆最大倾斜角度：≥±35°

双倾斜样品杆最大倾斜角度：≥±30°

3.9.5 最大测角器（样品台）倾斜角度：±90°

3.9.6 样品台漂移（使用标准样品杆）：￡0.5nm/min

3.9.7完全计算机控制，全对中，高稳定性

3.9.8单倾样品杆与双倾样品杆都为高可见低背底样品杆。

3.10扫描透射(STEM)：

★3.10.1分辨率：≤0.16nm

★3.10.2探头：高角环形暗场探头（HAADF）STEM模式可以选择四个不同的探测器（BF, DF1,DF2,HAADF），16分割STEM探测器， 可同时采集4x幅来自不同角度的电子信号，明场（BF），环形明场（ABF），环形暗场（ADF）和大角度环形暗场（HAADF）的图像， IDPC像，差分相位衬度图像，利用DF4探测器16分割差分计算，图像信噪比与原子序数成正比，同时显示轻重原子，可以对轻原子成像

3.10.3智能扫描技术DCFI (Drift Corrected Frame Integration)可获得更好的STEM照片

3.10.4 HRTEM和HRSTEM之间切换后稳定时间短，仅需点击鼠标即可在TEM与STEM模式间相互切换，可在几秒种之内完成。

3.10.5 STEM放大倍数范围290x - 330Mx

3.10.6 STEM、CCD、EDS，同时采集数据功能和能谱分析功能，实现多维快速化学分析和成像。控制软件具有可进行在线或后续的离线分析，实现在同一点的多种模式或手段的综合分析。

3.11能谱仪(EDS) 技术规格

★3.11.1能谱系统，四个电制冷能谱仪仪对称设计、无窗设计、遮板保护

★3.11.2有效探测器面积：不小于120 mm2

3.11.3能量分辨率￡136 eV，Mn-Kα 和 10 kcps（输出）

3.11.4快速 EDS 成分图像素驻留时间低至 10μs

3.11.5可同时采集STEM和EDX的二维和三维分析信号，实现多维快速化学分析

3.11.6操作及数据处理模式：配备定性、定量数据处理软件及其它标准的用于EDX分析的必备软件

3.11.7谱图峰背比由于4000:1

3.12相机:

3.12.1相机具有4,096x 4,096像素及14um14um像素尺寸，它可以采集大面积的图像、然后数字放大来获得具体位置的高放大倍率的图像

3.12.2读取速度：40fps @4kx4k ，80fps @2kx2k，160fps @1kx1k，320fps @512x512

3.12.3配备低剂量成像技术（ lowdose）

3.13三维重构系统技术指标：

3.13.1 样品杆最大倾角：± 70°

3.13.2 倾角最小步长：0.2°

★3.13.3三维重构硬件和软件: 三维重构硬件包含专用大倾角样品杆一套，和用于数据后处理的电脑；三维重构软件包括：数据采集软件包（TEM模式和STEM模式），和数据对中重构及可视化处理软件包

3.13.4 最大图像漂移：X/Y方向 ≤ 2um ( /- 70°内倾转)

3.13.5 最大欠焦量变化：≤ 4um ( /- 70°内倾转)

3.13.6 重复性：≤ 400nm (样品杆重复3次进入)

3.13.7 能对样品杆进行初始化校准，并将所有坐标参数存储下来，供对中时用。

★3.13.8 可以实现TEM模式的三维重构和和扫描透射(STEM)模式三维重构。

3.14真空系统：

★3.14.1真空系统构成：完全无油真空系统由机械泵、涡轮分子泵和离子泵等构成

3.14.2真空度：样品室真空：< 2x 10-5 Pa，电子枪真空：< 5 x 10-6 Pa电子枪

3.14.2换样时间少于30秒；

3.14.3更换样品时无需关高压

3.15原位加热样品杆

★3.15.1 MEMS芯片型加热， 控制温度精确，最高加热温度1200摄氏度。

★3.15.2 样品杆具有加热，电学测量， 能谱仪数据采集一体化功能，为四探测器能谱仪优化设计，可做原位的EDS能谱仪数据采集。

3.16电镜操作：

3.16.1 100%数字化操作系统。所有电镜控制和操作按钮都可于Windows 7，64位的计算机控制系统，用两个控制垫和一个鼠标控制，并且操作指令执行过程中无延时，提供五个离线软件授权。（TEM,STEM,EDS 数据处理）

3.16.2配备有数字搜索和视摄功能的高速摄像机（SmartCAM），可以提高所有应用的处理能力，允许灯光照明操作

3.16.3人体工程学设计，具备有数字化用户界面，允许在不同的操作模式和数据采集技术之间快速切换，切换过程中系统自动调回所有相关的操作设置。

3.16.4电镜操作者可以根据需要拥有一套或多套电镜状态参数，每套状态参数相互独立，可在使用过程中迅速切换调用，无任何时间延迟。可设置任意多个用户，每个用户之间的参数设置相对独立，同时还可以相互调用。每个操作者在完成了自己的工作退出操作系统后，可以保留所有的状态。 当下一次用自己的帐户进入时，电镜将会自动完全回复到上次用户离开时的状态，且其间可以允许任何人多次操作，可以相隔任何长时间。

3.16.5控制软件具有多种探测器（附件）同时采集数据功能和频谱分析功能，可进行在线或后续的离线分析，可在几秒种之内完成所需模式（如常用的透射模式与扫描透射模式）之间的切换，实现在同一点的多种模式或手段的综合分析。

3.16 6具备环境干扰与仪器 外包装设计，实现远程操作，加强环境抗干扰力，完全远程控制，突显最大的易用性。

3.16.7具有自动转带轴功能

3.16.8系统包含两台计算机，分别为主机一台，相机存储一台。

4.附属设备与耗材

4.1附属设备：包括能为透射电镜系统在突然停电的情况下继续工作15-20分钟以便处理样品并安全关机的不间断备用电源（UPS）。

4.2耗材：微栅铜网500个，碳膜铜网500个，镊子2套，超声波清洗器1个，真空吸笔1个，样品干燥柜1个。

5. 实验室位置与建设

计划在实验中心一楼西南拐角处（103室与102室之间）加建包含设备间与透射电镜操作间的透射电镜实验室。详见所附透射电镜实验室建筑图与透射电镜实验室暖气与通风图。且符合以下安装要求：

5.1搬运通道: 最小宽度1.85m;最小高度2.33m

5.2实验室门: 最小宽度1.36m; 最小高度2.33m

5.3实验室顶的高度: 最小3.03m;

5.4实验室面积: 最小5m x 6m（详见房间布置图）; 6m x 8m为佳，承重：700kg/m²;

5.6工作温度: 工作温度15~30°C; 最佳温度20°C 3°C/-2°C; 温度波动<1°C/小时;

5.7相对湿度: <80%

5.8杂散磁场: X/Y方向: <80nT(峰-峰值); Z方向: <100nT(峰-峰值); (由FEI公司负责测试)

5.9振动: 透射电镜设备公司负责测试。如果振动不合格，需要挖防震台，尺寸1.5 x 2.0m；

5.10氮气: 压力1.0 x 10⁵Pa到10.0 x 10⁵Pa;

5.11电源: 230V 6%/ -10%; 频率50/60Hz ±1%; 容量: 12 kVA;

5.12接地电阻: 欧洲标准<0.1W; 国内要求：最好能达到1W;

数量:1套； 是否为经过审批采购的进口产品：是

　 　 　 　
合同履行期限：合同生效后8个月内
需落实的政府采购政策内容：1.对于中小微企业（含监狱企业）的相关规定；2.对于促进残疾人就业政府采购政策的相关规定等
本项目（是/否）接受联合体投标：否
二、供应商的资格要求
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定。
2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无
3.本项目的特定资格要求：（1）投标人如果不是进口报价产品的制造厂商，须提供报价产品制造厂商（或国内总代理）出具的授权书和售后服务承诺函（国产产品不用提供此条）。
三、政府采购供应商入库须知
参加辽宁省政府采购活动的供应商未进入辽宁省政府采购供应商库的，请详阅辽宁政府采购网 “首页—政策法规”中公布的“政府采购供应商入库”的相关规定，及时办理入库登记手续。填写单位名称、统一社会信用代码和联系人等简要信息，由系统自动开通账号后，即可参与政府采购活动。具体规定详见《关于进一步优化辽宁省政府采购供应商入库程序的通知》（辽财采函〔2020〕198号）。
四、获取招标文件
时间：2020-11-04至2020-11-11，每天上午08:30至11:30，下午13:00至17:00（北京时间，法定节假日除外）
地点：辽宁政府采购网
方式：线上
售价：免费
五、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
2020-11-26 09:00（北京时间）
地点：辽宁宏运招投标代理有限公司2503室
六、公告期限
自本公告发布之日起5个工作日。
七、质疑与投诉
供应商认为自己的权益受到损害的，可以在知道或者应知其权益受到损害之日起七个工作日内，向采购代理机构或采购人提出质疑。
1、接收质疑函方式：书面纸质质疑函
2、质疑函内容、格式：应符合《政府采购质疑和投诉办法》相关规定和财政部制定的《政府采购质疑函范本》格式，详见辽宁政府采购网。
质疑供应商对采购人、采购代理机构的答复不满意，或者采购人、采购代理机构未在规定时间内作出答复的，可以在答复期满后15个工作日内向本级财政部门提起投诉。
八、其他补充事宜
投标文件递交方式采用线上递交及现场纸质递交同时执行，参与本项目的投标人须自行办理好CA锁，如因投标人自身原因导致未线上递交投标文件的按照无效投标文件处理。具体操作流程详见辽宁政府采购相关通知。
九、对本次招标提出询问，请按以下方式联系
1.采购人信息
名称： 沈阳师范大学
地址： 沈阳市皇姑区黄河北大街253号
联系方式： 王老师***-********
2.采购代理机构信息：
名称： 辽宁宏运招投标代理有限公司
地址： 沈阳市和平区市府大路55号年华国际大厦2520室
联系方式： ***-********
邮箱地址： caoxiaochenbenny@163.com
开户行： 中国工商银行沈阳南京街支行
账户名称： 辽宁宏运招投标代理有限公司
账号： ****************303
3.项目联系方式
项目联系人： 曹晓晨
电话： ***-******** 评分办法:综合评分法 附件：