公告概要：

一、项目信息

采购人：南京航空航天大学

项目名称：南京航空航天大学准分子激光器采购

拟采购的货物或者服务的说明：

薄膜材料已经在半导体材料、超导材料、生物材料、铁电/铁磁材料、新能源材料等各方面得到了广泛应用。作为新型的功能薄膜制备技术，脉冲激光沉积(PLD)是一种先进材料的先进制造技术，与传统方法相比具有反应迅速、沉积速率高、沉积温度低、可对化学成分复杂的复合材料进行全等同镀膜等诸多优势，脉冲激光沉积是研究和开发新型高性能材料的一种有效途径。

脉冲激光沉积制备功能薄膜的主要过程是准分子激光器发射出聚焦或离焦激光通过窗口进入真空室，烧蚀靶材形成高斯态分布喷射的等离子体，等离子体中的粒子(包括众多的粒子、离子、原子和原子团簇等)喷射中遇到基底，在其表面凝结成膜。脉冲激光沉积设备最核心的部分是其激光源——准分子激光器。准分子激光器发射的激光的稳定性、频率和最大输出能量对制备薄膜的速率和成膜的质量影响极大，所以为了搭建高质量的脉冲激光沉积系统需要输出脉冲能量高且稳定的准分子激光器。

以高能量准分子激光器和高真空腔室搭建的脉冲激光沉积系统能够满足在半导体、超晶格、生物涂层、电化学、新能源材料等领域制备各种功能薄膜的需求，有利于进一步争取国内外领先的高水平的研究成果。同时也将会极大地促进双一流学科建设，缓解科研、教学以及研究生培养实验仪器严重不足的现状。

拟采购的货物或服务的预算金额：88.******* 万元（人民币）

采用单一来源采购方式的原因及说明:

准分子激光器作为一种高精尖设备，对其制造和维护要求很高，目前世界上能生产制造商用的准分子激光器不多，准分子激光器能否满足使用需求的重要性能指标为最大脉冲能量、脉冲能量稳定性、光束指向稳定性等参数。最大脉冲能量决定激光器轰击靶材的升温速率和最高温度，能量越高，所能溅射的材料种类越多、成膜的速率越快；脉冲能量波动表示激光束的均一性，决定成膜的均一性和溅射颗粒的粒径大小；光束发散角影响能量的传输损耗，决定激光的利用率。

为了研究多种功能薄膜材料的激光制备，因不同材料的溅射条件有高有低，要满足绝大部分材料的制备需求，同时为了更加高效地制备高质量功能薄膜需要尽可能高能量和高稳定性的准分子激光束，其最大脉冲能量应达到700mJ以上，能量波动小于1%，光束发散角小于60μrad。

目前世界上能生产制造商用的准分子激光器不多，项目组成员调研了国内外的市场供应产品，对比了其性能指标，列表如下：

从市场调研情况来看，三个关键指标只有美国相干公司COMPex201设备能够满足研究需求，且综合性能较好，该系列激光器具有先进的气体净化功能以及卓越的气体密封性，大大提高了激光器腔镜以及气体的寿命，降低了使用成本，也进一步增强了使用上的安全性，因此申请采用单一来源方式采购此产品。

专家意见：经过论证，申请人提出的单一方式购置相干光源的激光器理由属实合理，相比于其他准分子激光器，相干光源COMPex201具有最大的脉冲能量、脉冲能量稳定和光束指向性稳定性高，主要技术指标能满足设备所需的要求，其市场占有率近100%，目前国内在PLD研究中较有影响的中科院物理所、南京大学、中国科学技术大学等单位，均采用Coherent Inc.公司生产的准分子激光器。另外价格区间合理，一致同意以单一方式采购。

二、拟定供应商信息

名称：相干（北京）商业有限公司

地址：北京市海淀区科学院南路2号院1号楼10层

三、公示期限

2020年11月06日 至 2020年11月12日

四、其他补充事宜：

1、凡参加投标的相关人员，应在投标截止时间前完成以下程序:

（1）所有人员必须提供苏康码的绿色健康码才能进入会场；

（2）进入开标大厅时必须佩戴口罩,不得随意走动。

2、参加南京航空航天大学项目的投标供应商需完成南京航空航天大学采购一体化平台上的注册。平台网址：********d6e47962c1&type=2&pageState=1&bidCategory=#/welcome/home" ignore="1">http://cg.nuaa.edu.cn/

五、联系方式

1.采购人

联系人：南京航空航天大学　　　　　

地址：江苏省南京市御道街29号　　　　　　　　

联系方式：申老师151*****683　　　　　　

2.财政部门

联系人：/

联系地址：/

联系电话：/

3.采购代理机构信息

名 称：江苏省华采招标有限公司　　　　　　　　　　　　

地　址：南京市雨花台区软件大道109号（雨花客厅）2幢909室　　　　　　　　　　　　

联系方式：张工/蔡工，***-********