中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目第37批--晶圆清洗机国际招标公告(2)
中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目第37批--晶圆清洗机国际招标公告(2)
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 晶圆清洗机 | 1 | 1.实现55纳米级别清洗去除颗粒能力强 | / |
2 | 金属去胶剥离机 | 2 | 1.实现55纳米级别清洗2.使用化学品对晶背进行刻蚀以达到需要的要求 | / |
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