西安交通大学-竞价公告(CB106982020003718)
西安交通大学-竞价公告(CB106982020003718)
申购单号:CB***************
申购主题:原子层沉积设备
采购单位:西安交通大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后14天内签约合同
送货时间:合同签订后90天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:陕西省/咸阳市/秦都区/****
付款方式:1.货到安装、调试、验收合格后，付全款。
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 原子层沉积设备 | 1.0 | 套 |
| 品牌 | 不限 | ||
| 型号 | 不限 | ||
| 规格参数 | 1. 工作条件：1.1 电源电压：AC 380V±10%，50Hz，三相五线1.2 长时间连续工作（满足7×24，即每周7天、每天24小时运行）2. 设备基本规格：2.1 适用于8英寸、6英寸、4英寸、3英寸、2英寸及破片加工2.2 设备运行过程中，整机外壳温度均不高于60℃，以保证操作的安全性。2.3 腔体系统要求：2.3.1 真空腔材质为316L不锈钢，漏率≤5×10-10mbar·L/s，腔体表面经过电解抛光处理2.3.2 样品台尺寸不小于φ200mm，可放样品最大高度不小于10mm 2.3.3 腔体开关方式：可通过界面操作系统自动开关腔门，配备安全互锁检测功能，确保腔门在安全状态下开关；耐腐蚀O-ring密封2.3.4 真空腔预留等离子体接口，可在原腔体基础上加装等离子体系统，无需更换腔体即可实现PEALD、Thermal-ALD双模式切换2.4 管路系统要求：2.4.1 至少配备3路前驱体源管路，3路可加热源，适用于需要加热的固态或液态前驱体源。每路源至少配备1套源瓶系统和2个国外进口阀门。源瓶系统配备1个国外进口高温手动阀、经过电解抛光处理且体积不小于250mL的不锈钢源瓶；阀门配备安全互锁检测功能，在真空腔门打开时处于强制关闭状态，防止前驱体暴露在空气中。2.4.2 至少配备2路反应物管路，包括NH3、H2、H2O，每一路反应物管路配备1个国外进口阀门和一个计量调压阀。2.4.3 前驱体管路配有载气（N2或Ar），载气管路前端需配备计量调压阀、进口气动阀等2.4.4 吹扫气路采用高精度进口质量流量控制器（MFC）进行流量控制，MFC控制精度：在2%-30%量程范围内精度为±0.3%，30%-100%量程范围内精度为±1%，可重复精度为±0.2%，漏率：< 1 x 10-10 Pa·m3/s(He) 2.4.5 管路及接头均采用EP级电解抛光不锈钢材料，所有气体管路连接处采用金属VCR密封2.4.6 管路排布符合工业标准，从源瓶到真空腔的所有管路需要配备加热箱，保证管路、阀门等位置受热均匀2.5 加热系统要求：2.5.1 样品台温度室温至400℃可控，控制精度 | ||
| 质保及售后服务 | 1.按行业标准提供服务，质保期36个月。 2.禁止虚报参数，中标后不能满足规格参数者，按合同金额的20%进行赔偿。 | ||
标签: 西安交通大学
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