感应耦合等离子体刻蚀机（JLU-KC20129）采购公告

招 标 正 文
 

感应耦合等离子体刻蚀机（JLU-KC20129）采购公告


项目名称感应耦合等离子体刻蚀机项目编号JLU-KC20129
公告开始日期160*****73000公告截止日期160*****00000
采购单位吉林大学付款方式预付30%，货到验收合格办理相关手续后付70%。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后15个工作日内到货时间要求收到预付款后150个工作日内
预 算无
收货地址吉林大学南岭校区仿生楼107
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
感应耦合等离子体刻蚀机1台电工器材
品牌感应耦合等离子体刻蚀机
型号ICP-8100
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算无
技术参数及配置要求1.刻蚀室1.1耐氟基气体腐蚀真空刻蚀腔体1.2刻蚀腔体尺寸：？350mm*H300mm， 铝质桶形卧式结构，上盖可自动开闭1.3刻蚀室系统漏率：5×10-7Pa.l/s1.4刻蚀室极限真空度：≤5×10-1Pa1.5刻蚀室静态升压：系统停泵关机后12小时后，真空度<5Pa1.6包含腔壁冷却1.7刻蚀均匀性：≤±5%(？6英寸）1.8刻蚀距离自动调节范围：40mm-100mm，调节精度：1mm2. Load-lock系统2.1含 Load-lock 室，8英寸矩形真空锁，双片缓冲机械手，线性导向驱动机构，样品顶升机构1套，真空计集成到一高两低真空测量系统里2.2 Load-lock 腔体尺寸：L500mm*W400mm*H200mm，铝质卧式结构，上盖自动开闭2.3 Load-lock室最大运送样品尺寸：？6英寸2.4 Load-lock 室极限真空度：≤6.7×10-1Pa3.气泵3.1包含耐氟基气体腐蚀分子泵1台，抽速600L/S3.2包含耐氟基气体腐蚀直连旋片式真空泵组1台，抽速8L/s3.3包含超高真空电动调节插板阀1台3.4抽速:系统充干燥N2解除真空，短时暴露大气后抽气抽至5×10-3Pa时间小于30min4.控制方式：基于PLC及工控机的全自动、半自动控制方式，具体包括：4.1 真空测量系统1套，一高两低4.2 自动压力控制系统1套，含进口薄膜真空计4.3自动控制系统1套，含 PLC 模块、工控机、显示器、控制软件等4.4自动压力控制系统4.5安全报警系统5射频5.1射频电源及自动匹配器：1000W，1套；600W，1套5.2 射频耦合电极及射频引入器1套5.3 偏压电极及射频引入器1套5.4内置射频同步器5.5射频阴极尺寸（最大样品尺寸）：？200mm6电源配置6.1耦合电极（上电极）：13.56MHz，1000W自动匹配6.2偏压电极（下电极）：13.56MHz，600W自动匹配7.气体配置7.1 SF6、CHF3、CF4、02、Ar、N2、C4F8 (视具体刻蚀工艺）8.质量流量控制器：6台9.工艺气路：7条10.水冷工作台温度：<15°C
售后服务质保期:一年;

报价地址：https://www.yuncaitong.cn/publish/2020/11/16/20KHK6DQINVQOJQI.shtml

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 刻蚀 等离子体 耦合

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