材料科学与工程学院旋涂仪(WSJJ20200106)网上竞价采购公告
材料科学与工程学院旋涂仪(WSJJ20200106)网上竞价采购公告
项目名称 | 旋涂仪 | 项目编号 | WSJJ******** |
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公告开始日期 | 160*****75000 | 公告截止日期 | 160*****00000 |
采购单位 | 陕西师范大学 | 付款方式 | 国产-货到验收合格后且缴纳5%质保金后一次性支付全额货款,质保期满验收合格后,不计利息退还5%质保金。 |
联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
签约时间要求 | 成交后7个工作日内 | 到货时间要求 | 已成交3个工作日内 |
预 算 | 60000.0 | ||
收货地址 | 陕西师范大学(长安校区) | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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旋涂仪 | 1 | 台 | 其他仪器 |
品牌 | 迈可诺 |
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型号 | WS-650MZ-23NPPB |
品牌2 | 无 |
型号 | 无 |
品牌3 | 无 |
型号 | 无 |
预算 | 60000.0 |
技术参数及配置要求 | 1.系统盖板具有智能嵌锁装置,确保操作安全;设有保护气体装置:旋涂过程中对旋转马达进行气流保护;蓝牙连接处理腔体2. 处理腔体内径不小于9.5英寸 (241毫米);Wafer芯片尺寸满足10-150mm直径的材料,方片125x125mm,无需更换片托;腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质;3. 旋转马达转动速度满足0-12,000rpm,旋涂加速度不小于12,000rpm/sec;马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%;4.控制系统工艺时间设定范围满足1-5999.9 sec/step ;配有高精度PLC可编程的控制器,设置点精度高;可存储不少于20个程序段,每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态;具有国际标准认证,并且无需再校准;5.配套真空泵系统:无油型 220~240伏交流,50/60赫兹;真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可调节,抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟);6.配有进口水平测试模块 |
售后服务 | 电话支持:5x8小时;质保期:1年;响应时间:报修后48小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品、 送货上门/安装调试/技术培训; |
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