高功率真空等离子体处理设备 招标公告
高功率真空等离子体处理设备 招标公告
| 项目名称 | 高功率真空等离子体处理设备 | 项目编号 | ZBZXHB******* |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 160*****35000 | 公告截止日期 | 160*****00000 |
| 采购单位 | 四川大学 | 付款方式 | 请查看比选文件 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 成交后120个工作日内 |
| 预 算 | 996500.0 | ||
| 收货地址 | 四川大学高分子材料工程国家重点实验室106 | ||
| 供应商资质要求 |
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 高功率真空等离子体处理设备 | 1 | 台 | 其他特种设备 |
| 品牌 | - |
|---|---|
| 型号 | - |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | 996500.0 |
| 技术参数及配置要求 | 2.1，反应室: 直径: Φ1350mm, 长度: 1000mm+500mm ，不锈钢及内壁多层屏蔽。2.2，辉光放电: 电容式耦合，垂直放置。2.3，电极: 内电极放电。放电形式为多组放电区放电，使PTF材料在辉光放区的时间延长并因此而缩短了处理的时间。2.4，真空系统: BSV-90真空泵2台.BSJ150罗茨泵2台，本底真空度≤ 5 Pa；工作真空度：10～120 Pa。2.5，真空测量:压强进气自动控制仪.测量范围:1000 Pa～1 Pa，准确度(精 度):±1 Pa，并可根据氦等离子体的颜色监控纯度。2.6，气体入口:双通道转子流量计2个.单体入口1个。2.7， RF射频电源:位移电流双输出射频电源， 13.56MHz, 0－1000W 自动匹配控制.内置过压，过流，过热和驻报警保护；具有手动和计算机远程控制两种模式。2.8，工作压力：10Pa～100Pa。2.9，整体不锈钢管路；仪器放置面积：长 6M、 宽 3M；电源电压：：380±10%V；功率需求：8KW。 |
| 售后服务 | 服务网点:不限;电话支持:7x8小时;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年; |
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