项目名称：边缘曝光机
日期：2012年11月27日
招标编号：0730-1240GD021615/04
中航技国际经贸发展有限公司受买方委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2012年11月27日在公告。本次招标采用传统招标 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标产品的名称、数量及主要技术参数：
招标编号: 0730-1240GD021615/01
设备名称：阵列用洁净机器手
数量: 1 台
*7.3.3.1卡匣尺寸：1380(W)mm×1560(D)mm×1480(H)mm
*7.3.3.2卡匣容量：30片
*7.3.3.3玻璃间隔：45mm
*7.3.3.4卡匣passline:1200mm
*7.3.3.5第一片玻璃距卡匣底部:90mm

招标编号: 0730-1240GD021615/02
设备名称: 清洗-光胶涂布-显影系统
数量: 1（套）
*7.4.2.1配有毛刷清洗功能(Brush)
*7.4.2.3配有漏液检测功能
*7.4.2.4配有基板破碎检测功能
*7.4.2.5清洗机的水洗管路,必须能切换使用2.38% TMAH清洗管路
*7.4.2.6清洗机水槽(Tank)必需注入二氧化碳(CO2)

招标编号: 0730-1240GD021615/03
设备名称: 显影管理系统
数量: 一（套）
*7.3.3显影液量测精度 : ±0.003 wt%
*7.3.4显影液控制精度 : 设定值 ±0.01 wt%
*7.3.5光阻量测精度 : ±0.02 Abs
*7.3.6光阻控制精度 : 设定值 ±0.05 Abs
*7.3.7碳酸盐(CO2/CO3)量测精度 : ±50ppm

招标编号: 0730-1240GD021615/04
设备名称:边缘曝光机
数量:合计1台:

*7.1.1系统及主要组成部分由原产地设计制造，禁止转包，除非得到买方的书面同意。
*7.3.2TFT基板尺寸兼容性:1300mm×1500mmt=0.3~0.7mm±10% t
*7.3.3TFT生产节拍:(光阻感度:30mj/cm2)
机台接收基板+“口”形曝光完成+传送出机台≤47秒
*7.3.5洁净度& hepa Filter Unit
TFT: 洁净等级满足ISO Class 3{≤ 102/m3 （0.3 μm））(量测点位为HEPA过滤器出风口)}
*7.5.1.6针对有机膜光阻(Organic PR)和一般光阻(Normal PR)工艺兼用的需求，Lamp House 需可兼用， 且recipe能自动切换。

招标编号:0730-1240GD021615/05
设备名称:前段曝光机
数量:3台（均为TFT曝光机）
*7.3主要要求和参数:（基板尺寸:1300mm×1500mm）
* 7.5.1基板进曝光机与出曝光机，机械手臂要求的精度:进片:≦±2 mm, 出片:≦±4mm
*7.5.3每台机台内放置光罩的光罩盒，最少需有9套
*7.5.5基板兼容性(功能保证Function Guarantee): 0.3mm~ 0.7mm± 10% t基板
*7.5.8必需使用超高压水银灯(Ultra-high pressure mercury lamp)_12kw For Normal PR 3 Lamp， 4 Shot Tact Time≦66sec(ADC Mode), 4 Shot Tact Time≦51sec(FDC Mode)

招标编号:0730-1240GD021615/06
设备名称:曝光机设备
数量:2台（均为TFT曝光机）
*7.6.5照度均匀性(Illumination Uniformity):≤±1.5%
*7.6.6检视局部变异(Local Distortion)(DIA):≤±0.6um/20mm
*7.6.7检视变异(Scan Distortion)(MAA) :≦±0.45μm
*7.6.8倍率补正(Magnification Correction):a.可控制范围(Controllable Range): ≤±20ppm,b.X,Y误差≤5ppm
*7.6.9非线性补正功能(Non-liner Correction Function)，补偿间隙(Correction Pitch):X:50mm Pitch,Y:105mm Pitch

招标编号:0730-1240GD021615/07
设备名称：阵列用上下料机
数量: 1台
*7.3.3.1卡匣尺寸：1380（W）mm×1560（L）mm×1486（H）mm
*7.3.3.2卡匣容量：30片
*7.3.3.3玻璃间隔：45mm
*7.3.3.4卡匣passline:1200mm
*7.3.3.5第一片玻璃距卡匣底部:90mm

招标编号: 0730-1240GD021615/08
设备名称: 温调机
数量: 1套
*7.5.2.1需使基板表面温度保持在23±0.2℃
*7.5.2.2洁净等级满足ISO Class 3（≤ 102/m3 （0.3 μm））
*7.5.2.3温度稳定性：≤±0.05℃（验收方法测量吹风口温度，量测1点）
*7.5.2.4温度均匀性：≤±0.5℃（验收方法测量吹风口温度，量测9点）
*7.5.3投标档案中需附有0.3t玻璃基板于25秒内使基板温度由23±1℃调整至23±0.2℃的相关实机测试报告或模拟报告。

2、招标文件售价：01-RMB 500.00or USD 80.0002-RMB 5000.00or USD 810.0003-RMB 1000.00or USD 160.0004-RMB 1000.00or USD 160.0005-RMB 5000.00or USD 810.0006-RMB 5000.00or USD 810.0007-RMB 500.00or USD 80.0008-RMB 500.00or USD80.00
3、购买招标文件时间：从即日起至开标时间止 每日9时至16时
4、购买招标文件地点：中国北京市朝阳区慧忠路５号远大中心Ｂ座14层 (以邮件方式 )
5、投标截止时间和开标时间：2012-12-17 10:00
6、中标情况将在公示。
7、开标地点：厦门天马微电子有限公司
地 址：福建厦门翔安翔安路699号
邮编：200201
电子邮箱：ytx@aited.cn
电话： 0086-10-******** or 0086-0-138*****701 （in Beijing）
传真：0086-10-******** , 0086-10-********
联系人：杨彤欣 先生 (发送邮件后请必须与我们确认收到)
开户银行（人民币）：招行亚运村支行
开户银行（美元）：中国银行总行营业部 (中国北京复兴门大街甲1号)
帐 号（人民币）：***************
帐 号（美　元）：********094014 SWIFT CODE：BKCHCNBJ