卧式低压化学气相沉积炉管检控系统招标公告

卧式低压化学气相沉积炉管检控系统招标公告

项目名称:卧式低压化学气相沉积炉管检控系统
日期:2012年12月04日
招标编号:0834-1240SH12A215/02
上海中招招标有限公司受买方委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2012年12月04日在公告。本次招标采用传统招标 方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标产品的名称、数量及主要技术参数:
01原子力显微镜 1套
02卧式低压化学气相沉积炉管检控系统 1套
03卧式氧化扩散炉管系统1套
04热场发射扫描电子显微镜1套
05反应离子式深硅刻蚀系统1套
06反应离子刻蚀机(用于金属薄膜) 1套
07反应离子刻蚀机(用于介质薄膜) 1套
08等离子增强化学气相沉积系统1套
09多靶磁控溅射镀膜系统1套
10电子束蒸发镀膜系统1套

210mm全自动可旋转样品台,样品高度可达到20mm以上。

2、招标文件售价:500.00
3、购买招标文件时间:2012-12-4至2012-12-21
4、购买招标文件地点:上海市中山南路268号新源广场1号楼502室
5、投标截止时间和开标时间:2012-12-24 09:00
6、中标情况将在公示。
7、开标地点:上海市新源广场1号楼6楼议室
地 址:上海市中山南路268号
邮编:200010
电子邮箱:vickie0823@hotmail.com
电话: 86-21-*********5021
传真:86-21-********
联系人:胡玮
开户银行(人民币):中国民生银行上海分行虹桥支行
开户银行(美元):中国民生银行上海分行虹桥支行
帐 号(人民币):****************
帐 号(美 元):****************


联系人:郝工
电话:010-68960698
邮箱:1049263697@qq.com

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