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论证意见

原子层沉积系统

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原子层沉积系统能够应用于纳电子技术、场效应、太阳能电池等领域，多方面满足科学研究的需要。国内相关厂商的产品在沉积8英寸面积的薄膜颗粒性、种类及厚度均匀性（小于1%）等方面具有较大差距，在以下方面不能以成熟的市售产品满足：（1）提供6条以上独立的源管线、同时连接10个以上先驱体源，（2）精确控制沉积梯度材料的成分均匀性和掺杂浓度，（3）精确控制四元和五元硫化物的组分及结构。特此申请购买国外进口产品。

原子层沉积系统不仅能用来研究原子级薄膜的沉积原理，还能够用来制备性能优异的材料，应用在包括纳电子技术、光学薄膜、场效应、太阳能电池等的多个领域，多方面满足科学研究的需要。建议购买

光谱传感器（紫外可见光光度计）

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温州大学电气工程重中之重学科的重点研究方向之一是物联网技术在环境与资源监测管理中心的综合应用，其中水环境的在线精确检测必须采用反应速度快、精度较高的光谱传感器进行数据的采集。而220-720nm全光谱传感器单独测量COD/SS/BOD/TOC/UV254/硝氮/指纹图/色度等参数的国产仪表，因技术不成熟，反应速度慢、相关性和误差大，不适合在线检测。学科去年已经购置一台奥地利s：：can COD传感器，经学科一年多的使用表明，该产品测试可靠，方便携带，但测量参数范围和测量精度尚不能完全达到物联网水环境检测研究要求。因此根据研究的需要申购一台测量范围宽、多参数综合、性能较好的spectro：：lyser 光谱传感器解决物联网技术在水环境应用中关键的数据采集问题。

国内尚无在线集成测试COD/SS/BOD/TOC/UV254/硝氮/指纹图/色度等参数的仪表，申请单位前期已经采购了国外相关单独监测COD的产品，经使用表明国外相应产品测试可靠，但测量参数种类、范围和测量精度不能满足物联网水污染监测研究和相关应用要求。因此根据研究和应用的需要购置测量范围较宽、精度较高的spectro：：lyser水污染光谱分析监测设备解决研究中关键的数据采集问题是必要的，论证专家组建议采购