一、项目信息

采购人名称：西北大学

项目名称：半导体特性分析仪等设备采购

拟采购进口产品清单的说明： 纳秒激光器、1 台、 320000.00元； 六轴纳米压电平移台、1 台、 420000.00元； 全功能型多用吸附仪、1 套、 600000.00元； 半导体特性分析仪、1 台、 670000.00元；

拟采购进口产品清单的预算金额：*******.00元

采用采购进口产品的原因及说明：纳秒激光器：采购人要求波长:1064 nm/532 nm/355nm；单脉冲能量：1064nm≥850mJ；532nm≥420mJ；355nm≥225mJ；重复频率: ≤15 Hz；脉冲宽度：1064nm≤7ns；国产设备无法满足采购要求。六轴纳米压电平移台：目前采购方正在研发跨尺度微纳结构的超分辨光学快速制造系统，要求其定位精度≤±2nm，同时要求实现样品的三维平动、三维转动等运动，因此需要采购六轴（平动、转动各三个维度）纳米平移台。而目前国内厂家生产的纳米平移台只限于三维纳米压电平移台，无法实现样品的三维转动控制；此外，平台在满负载下，其响应速度、定位精度等性能变差，不能达到研发跨尺度微纳结构的超分辨光学快速制造系统的要求。全功能型多用吸附仪：1、蒸汽吸附功能国产仪器技术不成熟，无法完成蒸汽吸附测试。2、多站微孔同时分析，国产设备无法满足，无法直接进行平行对比。半导体特性分析仪：1、测试设备的分辨率要在0.01fA， 国内相关产品分辨率在1nA左右，不能达到实验要求的电流精度和灵敏度。2、越来越小的器件尺寸和越来越快的工作速度，传统的直流（DC） I-V技术不能完全满足测试需求，需要提供脉冲I-V测试的扩展能力，可以与DC测试结合，因此提出系统必须具备脉冲I-V测试能力同时最小脉冲宽度为10ns，国内并没有相应满足需求的设备。故申请采购进口设备。

二、公示期限

2020-12-15至 2020-12-22

三、其他补充事宜

无

四、联系方式

1、采购人：西北大学

联系人：西北大学经办

联系地址：太白北路229号

联系电话：********974

2、财政部门：陕西省财政厅

联系人：柴老师、张老师

联系地址：西安市冰窖巷6号

联系电话：***-********、***-********

五、附件

160*****83576.docx">专家意见.docx

西北大学

2020年12月15日