西安交通大学-竞价公告(CB106982020004647)
西安交通大学-竞价公告(CB106982020004647)
项目名称:西安交通大学-竞价公告(CB***************)
申购单号:CB***************
申购主题:全石英MEMS芯片
采购单位:西安交通大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:合同签订后7天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:陕西省/西安市/雁塔区/****
付款方式:1.货到安装、调试、验收合格后，付全款。
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 全石英杠杆MEMS芯片 | 50.0 | |
| 品牌 | 不限 | ||
| 型号 | 定制 | ||
| 规格参数 | 一、 参数要求1. 芯片结构进行全参数测试，关键结构（我方指定）尺寸精度：±5um。振梁电极采用四面电极布置，振梁工作时处于同平面内相反相位振动。石英片厚度100um。2.在250倍显微镜下，进行表面检测，质量满足以下要求：（1）芯片结构表面无微裂纹、无粘附杂质；（2）芯片各个侧面无V型等缺口；（3）芯片结构不允许存在多余的、不规则的连接（设计要求的除外）；（4）刻蚀侧壁垂直度要求：90°±1.5°，侧壁和腐蚀底面晶棱高度不超过5um，侧壁无其它结构性缺陷；二、石英表面镀金层质量要求（1）镀金层无金属腐蚀、剥落、起皮、气泡等缺陷；（2）镀金层表面不允许存在划伤；（3）石英表面的电极、金属导带上的缺损应分别小于振梁表面电极、金属导带宽度的10%；（4）石英相邻的金属导带、电极之间的金属化突出应小于设计间隔的10%；（5）石英正、反面电极应连接完整、无断线（梁体边缘侧溅射和衍射的金属导线除外）；（6）侧面电极和正、反面电极连接完整。三、乙方提供所有样品的测试报告，报告包含如下技术参数：振梁起振后的谐振频率、振梁结构尺寸和结构件的关键结构（我方指定）尺寸。所有振梁的起振频率误差在±0.5kHz以内。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务，质保期36个月。 | ||
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 2 | 特殊尺寸石英谐振器 | 50.0 | |
| 品牌 | 不限 | ||
| 型号 | 定制 | ||
| 规格参数 | 一、参数要求1.传感器结构进行全参数测试，关键结构（我方指定）处的尺寸精度：±5um。振梁电极采用四面电极布置，振梁工作时处于同平面内相反相位振动。石英片厚度100um。2.在250倍显微镜下，进行表面检测，质量满足以下要求：（1）芯片结构表面无微裂纹、无粘附杂质；（2）芯片各个侧面无V型等缺口；（3）芯片结构不允许存在多余的、不规则的连接（设计要求的除外）；（4）刻蚀侧壁垂直度要求：90°±1.5°，侧壁和腐蚀底面晶棱高度不超过5um，侧壁无其它结构性缺陷；二、石英表面镀金层质量要求1.镀金层无金属腐蚀、剥落、起皮、气泡等缺陷；2.镀金层表面不允许存在划伤；3.石英表面的电极、金属导带上的缺损应分别小于振梁表面电极、金属导带宽度的10%；4.石英相邻的金属导带、电极之间的金属化突出应小于设计间隔的10%；5.石英正、反面电极应连接完整、无断线（梁体边缘侧溅射和衍射的金属导线除外）；6.侧面电极和正、反面电极连接完整。三、乙方提供所有样品的测试报告，报告包含如下技术参数：振梁谐振频率、振梁结构尺寸和结构件的关键结构（我方指定）尺寸。所有振梁的起振频率误差在±0.5kHz以内。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务，质保期36个月。 | ||
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 3 | 大摆结构石英芯片 | 50.0 | |
| 品牌 | 不限 | ||
| 型号 | 定制 | ||
| 规格参数 | 一、参数要求1.芯片结构进行全参数测试，关键结构（我方指定）处的尺寸精度：±5um。石英片厚度为360um。2.在250倍显微镜下，进行表面检测，质量满足以下要求：（1）芯片结构表面无微裂纹、无粘附杂质；（2）芯片各个侧面无V型等缺口；（3）芯片结构不允许存在多余的、不规则的连接（设计要求的除外）；（4）刻蚀侧壁垂直度要求：90°±1.5°，侧壁和腐蚀底面晶棱高度不超过5um，侧壁无其它结构性缺陷；二、石英表面镀金层质量要求（1）镀金层无金属腐蚀、剥落、起皮、气泡等缺陷；（2）镀金层表面不允许存在划伤；（3）石英表面的电极、金属导带上的缺损应分别小于振梁表面电极、金属导带宽度的10%；（4）石英相邻的金属导带、电极之间的金属化突出应小于设计间隔的10%；（5）石英正、反面电极应连接完整、无断线（梁体边缘侧溅射和衍射的金属导线除外）；（6）侧面电极和正、反面电极连接完整。三、乙方提供所有样品的测试报告，报告包含如下技术参数：振梁谐振频率、振梁结构尺寸和结构件的关键结构（我方指定）尺寸。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务，质保期36个月。 | ||
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