因公司科研生产需要，需招标采购如下设备，主要技术要求如下：

厚膜电阻激光调阻机技术参数：

1．激光器系统

1）*激光波长：532nm，绿光

2）*激光平均功率：5W@10KHZ（TEM00）

3）*典型斑尺寸：10-20μm

4）*对焦方式：自动对焦

2．激光束定位系统

1）激光扫描范围：40mm×40mm

2）*重复定位精度：2.5μm

3）*激光束运动分辨率：1μm

4）最高扫描速度：7000mmhttp://www.cmri.cc/s

5）*定位方式：可编程定位或图像识别自动定位

3．图像监视系统

1）*监视方式：激光同轴监视

2）监视视场：2-3mm（对角线）

3）*照明光源：LED照明

4．测量系统

1）*电阻测量方式：加电流测电压

2）四线制、二线制计算机程控

3）电阻测量模式：三档模式设定，可编程控制

4）*电阻测量范围：0.1Ω-10MΩ（16bit分辨率）

5）*电阻测量精度：±0.02%+0.5%http://www.cmri.cc/Rx（0.1Ω<Rx<100Ω）

±0.02%（100Ω<Rx<100KΩ）

±0.02%+0.05%*Rx（100KΩ<Rx<10MΩ）

6）电阻测量速度：25μs

7）直流电压分辨率：0.16μV（在10mV满量程条件下）

8）探针板和引线连接方式：兼容标准48PIN探针板

9）探针板运动：计算机程序控制

10）测量通道：42通道

11）电压测量范围：±100mV～±10V16bit分辨率（可选配其它量程）

12）可选配GPIB接口，采用外部仪表控制方式

5．计算机及软件系统

1）*工业控制计算机（双核以上），19寸液晶

2）操作系统：Win7

6．分步重复机械运动系统

1）运动方式：直线电机，光栅尺

2）运动范围：300mm×300mm

3）*最大陶瓷基板尺寸：150mm×150mm

4）*运动分辨率：1μm

5）*重复精度：±1μm

6）*定位精度：±5μm

7）最大速度：900mmhttp://www.cmri.cc/s（空载）

8）运动加速度：1.5G

7．其它技术指标

1）冷却方式：水冷

2）供电电压：220VAC

3）整机功耗：2500W

4）*配置温度跟踪系统

5）可导入CAD图形

6）配备必要的易耗品、备件、工具等，如探针、探针板、护目镜等。

请有意商家及厂家与我公司联系，需要进行技术交流的请于1月25日前与我们联系。

联系单位：重庆材料研究院有限公司
联 系 人：袁先伦
联系电话：***-********http://www.cmri.cc/130*****869
邮 箱：********7@qq.com">********7@qq.com
截止时间：2021年1月25日