高真空电阻蒸发镀膜机（JJ2021000164）采购公告
高真空电阻蒸发镀膜机（JJ2021000164）采购公告
项目名称:高真空电阻蒸发镀膜机（JJ********64）采购公告
| 项目名称 | 高真空电阻蒸发镀膜机 | 项目编号 | JJ********64 |
|---|---|---|---|
| 公告开始日期 | 161*****50000 | 公告截止日期 | 161*****00000 |
| 采购单位 | 南开大学 | 付款方式 | 货到后7个工作日内付款 |
| 联系人 | 中标后在我参与的项目中查看 | 联系电话 | 中标后在我参与的项目中查看 |
| 签约时间要求 | 无 | 到货时间要求 | 合同签定生效后3个工作日内 |
| 预 算 | 无 | ||
| 收货地址 | 南开大学津南校区电子信息与光学工程学院西楼 | ||
| 供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 | ||
| 采购商品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
|---|---|---|---|
| 高真空电阻蒸发镀膜机 | 1 | 套 | 无 |
| 品牌 | 泰科诺 |
|---|---|
| 型号 | ZHD300 |
| 品牌2 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 品牌3 | 无 |
| 型号 | 无 |
| 预算 | 无 |
| 技术参数及配置要求 | 一、整机简述特点/用途ZHD300高真空电阻蒸发镀膜机配2组蒸发源，兼容金属材料蒸发与有机材料蒸发；该设备主机与控制一体化设计，PLC触摸屏控制，操控方便，结构紧凑，占地面积小；该系列设备广泛应用于高校、科研院所的教学、科研实验以及生产型企业前期探索性实验及开发新产品等，深受广大用户好评。其主要用途有：适用于镀制低熔点金属及合金材料薄膜，单层/多层/复合膜，例：铜、铝、金、银、钡、铋、锌、锑等；适用于镀制非金属/化合物等材料薄膜；例：氧化钼、氟化鋰等；适用于有机材料蒸发；适用于扫描电镜制样；适用于太阳能电池、LED的研究和实验。产品图片（此图片仅供参考，最终以设计为准）二、设备主要技术参数1.真空腔室约直径300*内高400mm（最终以设计为准），304优质不锈钢真空腔室；2.真空系统复合分子泵+直联旋片泵+高真阀门高真空系统，数显复合真空计；3.真空极限≤5.0×10-5Pa；（设备空载）；4.漏 率设备升压率：≤0.8Pa/h；设备保压：停泵12小时候后，设备真空度≤10Pa；5.抽速从大气抽至5.0×10-3Pa≤13min；（设备空载）6.基片台尺寸最大可镀基片尺寸/面积：Φ100mm范围内可装卡各种规格基片；7.基片台旋转旋转速度：0-20转/分钟；8.蒸发源及电源2对水冷式蒸发电极；1台3kW金属蒸发电源；9.膜厚不均匀性≤±5%（基片台Φ80mm范围内）；10.控制方式PLC+触摸屏控制方式；11.报警及保护对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。三、设备简述及主要配置1.真空腔室①结构：约直径300*内高400mm（最终以设计为准），304优质不锈钢真空腔室；②主要接口装配位置：两组蒸发源接口从真空腔室底部引入；分子泵抽气口位于腔室底部；电磁放气阀接口位于抽气管道处；电离规接口位于腔室底座侧部；挡板、基片架接口从腔室底部引入；③预留接口：预留基片台加热器及热电偶探头接口；预留标准CF35/CF50接口各1个（装国产膜厚仪以及其它用途）；2.基片台①电机驱动旋转基片台，转速0-20转/分钟；②基片台尺寸：Φ100mm，基片台可从基片架组件中取出，方便用户安装基片；③标准基片台均布配备簧片夹具，方便用户装卡各种不同规格尺寸的基片，基片台可按照用户要求个性化定制；3.蒸发源及电源①蒸发源：4根铜水冷电极，合理分布组合成2组蒸发源，适应长时间稳定工作；样品到蒸发源距离：≥240mm；适用温度≤1300℃；蒸发源配手动挡板，源间配隔板，减少交叉污染；②蒸发源及材料：可使用丝状源与舟状源，兼容金属材料及有机材料蒸发（有机材料蒸发使用钨篮与坩埚组合的蒸发源）；蒸发源材料可采用钨、钼、钽、石英坩埚或锥形陶瓷坩埚等。③蒸发电源：功率3kW，最大电流300A；数量：1台，可切换供2对电极分时蒸镀；电流通过逆变式调控，稳定可靠：4.真空系统①真空机组采用“涡轮分子泵+直联旋片泵”准无油真空系统；电磁前级阀；“一低一高”数显复合真空计；②分子泵型号：JTFB-300Z脂润滑分子泵，抽速：300L/S；③机械泵型号：TRP-12直联旋片式真空泵，抽速：3L/S；④电磁挡板阀型号：GDC-25B；⑤真空测量：“一低一高” 数显复合真空计，测量范围从1×105Pa到1×10-5Pa；⑥真空密封：可拆静密封采用氟橡胶圈密封，不常拆静密封采用金属密封；5.水冷报警保护系统给分子泵、蒸发电极配备独立的进、出水，可保证设备长时间稳定运行；总进水采用压力控制器检测水压状态，执行异常报警。总进、出水采用标准的水路宝塔接口连接用户现场供水系统；6.电气控制系统①电气控制系统采用PLC+触摸屏控制系统，可实现自动一键式抽真空，蒸发镀膜电源采用手动控制，以方便用户进行镀膜工艺参数的摸索； ②控制内容：总电源、机械泵、前级阀的开与关；分子泵电源参数显示及开关控制；真空计参数显示及控制；基片台转速控制；③安全保护报警系统：在缺水、水压过低情况下的报警系统； 在电源过流、短路等异常情况执行相应保护措施；完善的逻辑程序互锁保护系统。控制系统示意图：7.控制柜与机架①控制柜：控制柜与机架一体化设计，集成总控制电源、真空系统控制、蒸发电源电流显示及控制、蒸发电源切换控制等。②机架：碳钢制作，静电喷塑表面，支撑腔体与真空系统；前后配门，方便使用和维护；底下配脚轮，方便移动、定位。四、设备使用工作条件（需方提供）1.安装场地①设备尺寸为：长×宽: 1100mm×800mm，安装场地尺寸≥1600×1200mm；②环境温度：＜25℃，环境湿度：＜50%R.H；室内无大量尘埃，无腐蚀性、易燃易爆气体；远离射频等干扰源。2.供电要求①设备供电总功率≥5000W，AC380V，50Hz；三相五线制（三火一零一地）；②其它：如用户增配冷却循环水机或其它选购件，需用户自行准备增配件的供电要求，不在安装条件范围内。3.供水要求①水压0.2～0.3MPa，水温10～25℃；②供水总出水、总回水管径为1″；供水距离设备尺寸≤2.5m。五、设备主要配置清单序号部件名称型号/参数数量生产厂家1真空腔室Φ300×H360mm，304优质不锈钢真空腔室1套北京2旋转基片台最大可镀基片尺寸/面积：Φ100mm1套泰科诺3蒸发源及电源水冷蒸发电极 2根组成1组2组泰科诺蒸发源配挡板，防止交叉污染1套泰科诺蒸发电源：功率3kW1台泰科诺4真空系统分子泵：JTFB-300Z脂润滑分子泵，300L/S1台世纪久泰机械泵：TRP-12直联旋片泵，3L/S1台北仪优成前级阀：GDC-25B，电磁挡板阀1台西马特放气阀：Φ6mm，电磁截止阀1只七星华创数显复合真空计：一低一高1台泰科诺波纹管及真空管道：材质：SUS304不锈钢1套泰科诺密封件、连接件、防护罩及其附件1套泰科诺5水路系统水排：SUS304不锈钢1套泰科诺压力控制器：缺水报警1套泰科诺6电气控制系统PLC+触摸屏控制方式；完善的逻辑程序互锁保护系统1套泰科诺7机架控制柜碳钢制作，表面喷塑、配脚轮、配门1台泰科诺8包装运输1台泰科诺9安装调试1台泰科诺六、设备随机备件清单序号名称型号/参数数量生产厂家1蒸发源钼舟或钨舟共20个北京钨蓝+石英坩埚组合2套北京2蒸发材料铝颗粒30克北京3铜垫圈CF352个北京4装卡螺钉设备相应规格1批北京七、售后服务承诺、安装调试验收、培训、文档资料1.售后服务①产品质保期为一年；②质保期内设备的维修免费（人为损坏因素除外）；③质保期内由于设备本身原因而引起的零配件（易损件除外）的更换，其费用由我公司承担； ④建立客户设备信息档案，随时跟踪设备运行及维护，保证设备正常运行；⑤在接到用户要求我公司进行技术支持的正式通知（含电话或邮件通知）后，我公司技术人员于48小时内，赶到技术服务现场；⑥对于质保期以外设备的维护，我公司只收取成本费；⑦所有配件、备件质保期外可长期按成本价及时提供。2.安装调试验收①当货物到达需方指定的交货地点后，供需双方依据设备供货清单共同对设备进行开箱验收，并对设备的数量、品质进行逐项检查。如需方发现所提供设备的品质和技术规范不符合合同要求时，或有明显损坏，需方有权向供方提出更换或维修；②如设备安装有特殊要求，供方应在设备安装之前向需方提出安装场地环境要求，并对需方就安装场地环境的咨询提供技术支持；③在设备到达需方场地后，供方应尽快组织完成整套设备的安装调试；④在安装、调试过程中，供方应对需方技术人员所提出的技术问题给予满意的答复，并向需方提供安装调试过程中的各种文档资料,以便需方今后能掌握操作方法和维护方法；⑤安装调试完毕设备运行满足各项合同指标后，供方可向用户提出验收申请，由用户组织验收，并提交验收报告，并在验收报告上签字确认；⑥安装和调试期间发生的费用由供方承担。3.培训①供方派技术工程师对需方人员进行技术培训,使需方人员能掌握有关系统设备的使用、维护和管理，达到能独立进行操作、日常测试维护等工作的目的；②供方应提供详细的培训课程讲义及培训；③安装验收完毕后对需方不少于2人进行培训，内容包括：实验方法原理、实验操作、拟合软件的使用、仪器维护、安全要点以及其他相关内容；④培训地点：用户现场；培训时间：1天⑤培训费用：所发生的培训费用由供方承担。4.文档资料①设备操作、维护使用说明书1套；②设备电气原理图1套；③设备易损件清单1套；④装箱单；⑤设备出厂合格检验证明。 |
| 售后服务 | 按国家法定或行业要求提供售后服务。 |
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