北航杭州创新研究院科研外协项目公示
北航杭州创新研究院科研外协项目公示
经项目负责人申请，根据北航杭州创新研究院科研外协项目审查相关规定，关于量子传感研究中心——量子精密测量与传感研究室的《ITO加热器件》外协项目现公示如下：
项目名称：ITO加热器件
项目负责人：宁老师
项目起止时间：2021年1月——2021年3月
预算金额：143460元
拟合作外协单位：蓝色传感（北京）科技有限公司
外协技术内容：完成ITO加热器件研制工艺流程，包括光刻版制备，蒸镀ITO，紫外光刻，PECVD沉积二氧化硅和氮化硅，ICP刻蚀二氧化硅和氮化硅，镀金，封装以及划片等。
公示期：2021年01月26日—2021年02月01日（5个工作日）。
公示期间对公示内容有异议的，请以书面形式署名向研究院规划与科研部反映，反映情况要实事求是，以便调查核实。联系方式如下：
联系人：卢勉
联系地址：北航杭州创新研究院8号楼
联系电话：137*****262
电子邮箱：lumian@buaa.edu.cn
北航杭州创新研究院规划与科研部
2021年1月26日
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