西安交通大学-竞价公告(CB106982021000261)
西安交通大学-竞价公告(CB106982021000261)
申购单号:CB***************
申购主题:磁控溅射镀膜机
采购单位:西安交通大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:发布竞价结果后90天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:陕西省/西安市/碑林区/****
付款方式:1.货到安装、调试、验收合格后，付全款。
备注说明:申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 磁控溅射镀膜机 | 1.0 | |
| 品牌 | 不限 | ||
| 型号 | 不限 | ||
| 规格参数 | 1.极限真空度：≤1x10-5Pa; 分子泵抽速≥700L/s；用无油机组并配带粉尘过滤装置；系统真空检漏率：≤5.0x10-8Pa.l/S；系统从大气开始抽气：溅射室25分钟可达到5.0x10-4 Pa；系统停泵关机10小时后真空度：≤2Pa。2.溅射靶直径≥50mm ，4支角度可调；靶与样品间调节范围>50mm;3.样品台直径：100mm。温度调节范围：-50℃-200℃; 转速0—30转/分连续可调,转动部件整体磁流体密封，低温无泄漏,并采用超真空高压绝缘结构可施加-1000V偏压；4.腔体烘烤及样品辅助升温，加热温度：室温—300°C。5.500W脉冲直流电源3台（恒流电源 、占空比可调节，频率4K，开关管采用进口IGBT）；500wRF射频电源1台(数字式自动匹配)-1000V脉冲偏压电源1台(恒压源、占空比可调、频率4K，开关管采用进口IGBT)6.真空测量采用进口全量程规进行测量。7.系统配有三路MFC控制进气系统（Ar、O2、N2）配有混气罐一套。8.系统采用PLC+触摸屏控制，具有多种可选镀膜模式。9.冷却水系统：计算机控制水流排与冷水机组合。10.气压系统：计算机控制气路与压缩空气机组合。 | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务，质保期36个月。 | ||
标签: 西安交通大学
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