激光热退火机国际招标公告(1)
激光热退火机国际招标公告(1)
序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 真空灌胶机 | 1 | 1、AOI站扫码调程序,自动识别有无产品及产品摆放是否正确,进入真空箱实现自动灌胶(自动跳过无产品及摆放错误);2、自动传输入固化炉,高温固化,冷却后自动传出; | / |
2 | 激光热退火机 | 1 | 实现晶圆激光热退火,修复表面晶格损伤,激活掺杂物活性,均匀性好 | / |
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