干法刻蚀机需求 招标公告

招 标 正 文
 

干法刻蚀机需求 招标公告

( 干法刻蚀机 )需求公示

项目名称

干法刻蚀机

是否预选项目

否

采购人名称

深圳清华大学研究院

采购方式

公开招标

财政预算限额（元）

*******

项目背景


该项目为深圳市科技创新委员会深圳超滑技术平台建设项目，批复文号深圳科技创新[2019]353号，项目资金已到位，采购金额为390万人民币，采购方式为公开招标，采购资金从超滑设备平台项目支付。

投标人资质要求


1）具有独立法人资格（提供合法有效的营业执照原件扫描件，原件备查）；
2）本项目不接受联合体投标，不允许分包，不接受投标人选用进口产品参与投标；
3）参与政府采购项目投标的供应商近三年内无行贿犯罪记录（由采购中心定期向市人民检察院申请对政府采购供应商库中注册有效的供应商进行集中查询，投标文件中无需提供证明材料）；
4）（1.只能将国家或地方法律法规规定的资质要求作为投标人资质要求； 2.不得提出投标人须提交任何形式的产品授权书或代理证的要求； 3.不得违反《深圳经济特区政府采购条例实施细则》第三十四条的规定。）

货物清单

序号采购计划编号货物名称数量单位备注财政预算限额(元)
1********4488干法刻蚀机1.0台公开招标，国产设备。*******.0

具体技术要求



序号
货物名称
招标技术要求

1
感应耦合干法刻蚀机
1主机要求

1.1 感应耦合高密度等离子体干法刻蚀机，主要用于200mm及以下尺寸晶片的硅高深宽比刻蚀，淡化硅,氧化硅,碳的刻蚀。

1.2本设备TM传输模块、PM工艺模块、动力模块：
TM传输模块由手动传输系统构成
PM工艺模块由真空反应室、等离子体系统、气路输送系统、排气系统、温度控制系统构成；
动力模块由反应室粗真空系统、反应室热交换系统、电源供给系统组成

2 PM 工艺模块 晶片在工艺模块内进行刻蚀，主要由真空反应室系统、等离子体控制系统、气体输送系统、排气系统、温度控制系统关键功能系统组成

方式进行等离子刻蚀；反应室系统具备加热控温能力，外部具备热防护；。反应室系统腔室本底真空：＜腔室漏气率：＜控压范围：控压精度：40~400W


▲2.2.7匹配器匹配稳定时间：< 3 s

▲2.2.8匹配器匹配精确度：
上电极：±1%设定值或±5W，下电极：±10%设定值

2.3工艺气体输送系统

2.3.1气体输送柜Gasbox 与PM整机集成，无需独立安装；减少气柜与反应腔室件距离，便于维护，减少占地；

2.3.2反应腔内采用中心和边缘双区进气的方式，保证更优的刻蚀均匀性和更佳的均匀性调节空间；

2.3.3工艺气体输送柜具备Ar、C4F8、O2、SF6 ，CF4,CHF3气体供气能力

2.3.4采用质量流量计控制（MFC），设定气体流量与实际输出流量偏差小于设定值的1%

2.3.5每路气体独立MFC控制，具备独立检漏能力；

2.3.6工艺气体能够实现软件自校准功能；

▲2.3.7 Gas box漏气率< 0.5 mTorr/min；

▲2.3.8 单一分支漏率< 0.5 mTorr/min；

2.4下电极系统

2.4.1采用静电卡盘对晶圆进行吸附；

2.4.2静电卡盘采用He气对晶圆进行冷却，并具有He气流量异常的监控功能；

2.4.3静电卡盘温度可调，下电极连接真空冷却循环系统（Chiller），并通过冷却液进行控温；

▲2.4.4下电极温度范围(CHILLER)：-20~40℃

▲2.4.5下电极温度精度(CHILLER)：±0.5℃

▲2.4.6下电极控温均匀性(ESC)：±0.5℃

2.5真空&排气系统

2.5.1反应室系统、隔离阀、干泵、排气管道等部位均配置加热
系统，有效减少刻蚀副产物的沉积，保证副产物顺利排出，减
少系统维护频率；

2.5.2真空系统为闭环压力控制系统，由高精度真空压力检测开
关、高精度真空规、高精度摆阀组成，实现反应室压力实时检
测&控制；该压力控制系统具有控制精度高、反应速度快的优点；

2.5.3真空系统由进口干泵泵组、进口摆阀、隔膜阀、压力传感器、真空规及不锈钢管路组成；

2.5.4独立控制器，响应更快，控制更精准，更省电；

2.5.5安全周密的逻辑互锁，保证设备使用与维护时人身安全；

▲2.5.6分子泵抽速2200L/S；

2.6.1 反应室系统具备模块温度控制能力；超温报警、工艺结束报警；极限超温报警，同时自动切断炉丝加热电源；软件界面同时显示控制热偶温度

▲2.6.3反应腔室壁控制室温~100℃

▲2.6.5立体源主筒底部~120℃

3传输系统

3.1.1采用手动开盖，自动机械手传片方式；

3.1.2传输系统具备真空环境，具备自动抽、充气及检测能力；

3.1.3 传输系统具备可观察窗口，便于观察wafer状态；

▲3.1.4传输类型为手动传输

▲3.1.5机械手指规格200mm（8 inch）

▲3.1.7压升率<1.0mTorr /min。

4 辅助动力系统

4.1.1 辅助系统由干泵、chiller、电源柜、变压器、伴热供电模块组成，为工艺系统提供真空、供电；

7软件控制系统

7.3手动模式：能够实现手动传片和手动工艺，方便工艺实验和生产过程中的异常恢复；

7.4自动模式，能够实现全自动传片及全自动进行工艺流程作业，全自动加工模式与手动加工模式能够方便切换；

7.5功能兼容：具备Bosch刻蚀工艺及非Bosch刻蚀工艺功能

7.6配备集成控制系统，实现对机台的状态指示和部件控制，并
提供人机界面实现生产、调试、维护等操作；

7.7 数据记录：系统自动记录工艺过程中的重要参数，并且可以生成Excel文件，方便用户查询。

7.8实时数据：提供给用户重要参数的实时变化，并且以曲线的
形式显示，辅助用户分析和监测。

7.9部件生命周期管理：提供了重要部件的生命周期管理，当达
8报警与互锁

8.1系统提供完备的报警和安全互锁功能。互锁是为保证人员和设备的安全，对某些有潜在危险的操作所进行的软硬件限制。对于有互锁限制的操作，只有当互锁条件满足时才能运行。
这些潜在危险包括：高频辐射、高温（烫伤、器件损伤甚至引发火灾等）、危险气体（毒性、腐蚀性、易燃、易爆）、运动部件、危险电压、气压差等。

8.2当互锁被触发时，系统会发出报警，操作屏上会提示报警信息，并有声音提示。在安全级别较高的互锁条件或自动模式下触发互锁后，工艺会被终止，这时需要操作员排除问题并清除报警，之后重新初始化系统。互锁功能在手动模式下依然有效。系统自动记录全部报警和错误日志，可以在日志系统中查找历史记录

8.3 工艺异常（工艺状态下的压力、流量、射频功率超出正常范围）后会立即终止工艺，关闭射频电源，关闭全部气路阀门，隔离腔室。

8.4 紧急情况发生时，可以通过EMO回路紧急停止设备，减少人员设备伤害。EMO按钮为黄色背景红色蘑菇头形状，在设备前面板和后面板安装，共2处，当按下时，EMO回路就会切断机台供电。在断电情况下，系统主电源会自动关断，除Slot阀之外，所有阀门会自动关闭。恢复供电的时候设备不会自动启动。

8.5 标识：射频、高温、高压部分都贴有危险标记以提醒注意；可活动和转动的机械部分都贴有危险标记以提醒注意。

8.6 报警接口：系统提供连接特气泄漏检测报警装置的接口（系统不提供该检测报警装置）。

▲9工艺验收指标

Si方槽刻蚀（8寸，CD=100μm方槽）

刻蚀深度
400~450μm

侧壁角度
90±2°

刻蚀速率
4μm/min

刻蚀均匀性
5%（片内，片间）
开口率50% ~60%

选择比（PR）
40：1

选择比（oxide）
100：1

侧壁粗糙度
200nm

底部notch
2μm底部有截止层

Si圆槽刻蚀（8寸，CD=100μm圆方槽）

刻蚀深度
400~450μm

侧壁角度
90±2°

刻蚀速率
4μm/min

刻蚀均匀性
5%（片内，片间）
开口率30%~40%

选择比（PR）
40：1

选择比（oxide）
100：1

侧壁粗糙度
200nm

底部notch
2μm底部有截止层

si-trench刻蚀（8寸CD=10μm trench）

刻蚀深度
400~450μm

侧壁角度
90±2°

刻蚀速率
4μm/min

刻蚀均匀性
5%（片内，片间）
开口率＜10%

选择比（PR）
40：1

选择比（oxide）
100：1

侧壁粗糙度
200nm

底部notch
2μm底部有截止层

si-trench刻蚀（8寸CD=2μm trench）

刻蚀深度
80 um

侧壁角度
90±1°

刻蚀速率
2μm/min

刻蚀均匀性
5%（片内，片间）
开口率＜10%

选择比（PR）
40：1

选择比（oxide）
100：1

侧壁粗糙度
200nm

底部notch
2μm底部有截止层

截止层损耗
200nm
底部oxide截止层

商务需求



说明：
1. “（一）免费保修期内售后服务要求”部分，请详细列明免费保修期内的售后服务要求，内容包括但不限于免费保修期限、售后服务人员配备、技术培训方案、质量保证、违约承诺、维修响应及故障解决时间、方案等。
2. “（二）免费保修期外售后服务要求”部分，请详细列明免费保修期外的售后服务要求，内容包括但不限于零配件的优惠率、维修响应及故障解决时间、方案、提供的服务等。
3. “（三）其他商务要求”部分，如有补充，请详细列明。
4. 可在重点条款前标“▲”。（重点条款偏离扣分较重，但不废标）

序号
目录
商务需求

（一）免费保修期内售后服务要求

1
维修及维护服务
1.1▲各投标人应在投标文件中列明各主机、配件和易耗品的保修期限, 并承诺提供整机免费保修期1年，终身维修。保修期内,年度定期预防性维护保养次数应不少于1次。保修期内免费更换零配件、免工时费。设备在保修期内需由原厂进行维修，出原厂维修报告。

1.2▲由设备制造商提供售后服务，2小时内响应，24小时维修到位（不可抗力情况除外）。消耗品和零配件供应及时，特殊情况下可提供备用方案。广东省内有相应的维修机构，并出具证明文件。

1.3投标人负责货物的终身维修，保证10年以上供应维修配件，如如果因机器和配件停产造成设备无法维修者（维修周期同故障处理条款内容），必须无条件免费更换整机保证完好使用。

1.4免费提供技术咨询及软件升级，提供产品终身技术服务。

1.5提供与产品原厂签订的售后服务协议书。

1.6 确保在指定实验室安装后设备性能达标。实验室位于深圳市坪山区国富黄金大厦四层。中标单位需确保其设备在该环境中能够正常使用。建议对隔振等环境因素有特殊要求的厂商提前到现场了解测试，并提供自己的解决方案。

2
质量保证
2.1保修期内因质量问题停机不超过2次,因故障总停机时间不超过1个月。否则延长质保期或更换新机。

2.2保修期到期前一个月内投标人需提供设备运行状态评估报告及过保后设备维护方案，保证提供有效的非现场技术支持服务和联系方式。

（二）免费保修期外售后服务要求

1
维修零配件、消耗品和延续保修合同的报价
1.1▲由设备制造商提供售后服务，2小时内响应，24小时维修到位（不可抗力情况除外）。消耗品和零配件供应及时，特殊情况下需提供备用机或其他临时解决方案。

1.2保修期满后，投标人应以优惠价供应维修零配件、消耗品和延续保修合同。价格最高的前5项零配件、消耗品和延续保修合同的报价明细必须填写于《零配件、消耗品和延续保修合同报价明清单》中。

1.3采购人可与投标人就优惠价进行谈判，但优惠价不得高于投标人在投标文件的《零配件、消耗品和延续保修合同报价明清单》中承诺的维修零配件、消耗品和延续保修合同的报价。

1.4设备制造商维修的货物经采购人验收合格，且设备制造商提供维修专用发票后，采购人支付维修费用。

1.5免费提供技术咨询及软件升级，提供产品终身技术服务。

（三）其他商务要求

1
交货要求
1.1签订合同后，自收到采购人通知后90个日历日内交货

1.2投标人应提供货物的技术文件，包括但不限于设备配置清单、产品说明书、图纸、操作手册、维护手册（含维修密码及接口数据）、质量保证文件、服务指南等，所有外文资料须提供中文译本。文件应随货物一并交付至采购人指定地点。

1.3提供的货物必须为全新、经检验合格的产品。产品如需要计量检定的应提供相关计量检定部门出具的合法检定报告。

1.4投标产品必须为整机原厂生产产品。

1.5如为进口产品，必须具有报关证明文件、原产地证明和商检合格证明文件，必须提供原产国相关进口资料；不接受分厂、贴牌及非正当进货渠道产品。

2
运输、安装和验收
2.1投标人负责将货物安全无损运抵采购人指定地点(深圳市坪山区国富黄金大厦4层),并承担设备的包装、运输、保险、装卸、安装调试、培训、商检及计量检测、关税、增值税和进口代理等费用。机器安装调试完毕，采购人正式投入使用_10_后，无故障方签署验收报告，保修期自验收培训完成 10起开始计算。

2.2采购人有权检验或测试货物，以确认货物是否符合合同规格的要求，并且不承担额外的费用。如果发现所交货物与投标文件中所承诺的不符或存在质量、技术缺陷等,采购人可以拒绝接收该货物,投标人应在
10天内采取补足、更换或退货等措施,以满足规格的要求，由此发生的一切损失和费用由投标人承担。

2.3投标人负责货物的现场安装和调试,提供货物安装、调试和维修所需的专用工具和辅助材料。投标人应在货物运至指定地点后10日内开始安装调试,并在30天内安装调试完毕。

2.4由投标人代表和采购人组成验收小组对产品进行验收。验收标准按照国家规定标准执行。经检验设备正常运作后签署验收报告,产品保修期自验收合格之日起算。

3
培训
3.1▲中标人应派专业技术人员免费对采购单位指定人员进行定期培训及指导，直至其完全掌握设备的使用和基本故障处理技术。

3.2现场培训：中标人应提供现场技术培训，保证使用人员正常操作设备的各种功能，分为设备和应用培训。

3.3集中培训：根据设备技术要求，可向中标人提供使用和维修技术人员培训。

3.4计算机辅助培训：针对该机型的多媒体互动操作教学软件，方便学习掌握基本操作和各项高级功能。

3.5网络教育：专业化产品俱乐部网站，提供与世界各地用户和专家进行网上交流和学习的平台，并随时了解最新的技术进展和各种教育课程、会议信息。

4
知识产权
4.1投标人应保证采购人在使用该货物或其任何一部分时，免受第三方提出的侵犯其专利权、商标权、著作权或其它知识产权的起诉。投标人保证所提供软件的合法性，所发生的任何知识产权纠纷与采购人无关。

4.2采购人购买产品后，有权对该产品与其他设备进行配套、整合或适当改进，而免受侵犯专利权的起诉。

4.3知识产权归属：双方共同进行的设备改造，知识产权应遵守双方约定，中标人不得在采购人不同意的情况下，泄露或销售相关技术内容或设备改造方案。

5
付款方式
5.1在签订合同之后，甲方支付合同款的30 %作为预付款，发货前支付合同金额的60%，验收合格后支付10%。

6
违约责任
6.1货物抵达目的港 90 天内，如发现质量、规格、数量与合同的约定不一致，除保险公司或运输代理声明负责的以外，采购人有权根据中国检验检疫局出具的检验证书要求换货或要求赔偿，所需费用（如检验费、退回次品运输替换货品的运费、保险费、仓储费、装卸费等）由投标人承担。

6.2如果投标人没有按照约定日期交货，除不可抗力之外，如果投标人愿意支付罚金，则采购人应同意延期出运。罚金不超过迟延出运货物总价的5%。罚金比率为每七天1%，不足七天以七天计。如果投标人比规定的装运时间迟延六周，采购人有权解除合同。即使解除合同，投标人也应向采购人支付罚金。

7
其他
7.1投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。

7.2提供原厂技术彩页，原厂技术彩页必须支持投标产品。

7.3消耗品/零配件供应及时（请附近期全部耗材成交目录），必须以本地最优惠价格提供。

技术规格偏离表


序号

货物名称

招标技术要求

投标技术响应

偏离情况

说明

商务规格偏离表


序号

目录

招标商务条款

投标商务条款

偏离情况

说明

（一）免费保修期内售后服务条款偏离表

1

2

……

（一）免费保修期外售后服务条款偏离表

1

2

……

（三）其他商务条款偏离表

1

2

……

评标信息



序号
评分项
权重

1
价格
32

2
技术部分
53

序号
评分因素
权重
评分方式
评分准则

1
技术保障措施
3
专家打分
在投标文件中详细说明保障措施（包括技术团队、技术方案、技术人员、场地、车辆等），评审委员会根据响应情况进行横向比较，按优100分，良80分，中60分，差0分打分。

5
技术规格偏离情况
50
专家打分
1. 投标人应如实填写《技术规格偏离表》，评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，各项技术参数指标及要求全部满足的得100分，带▲每负偏离一项扣2分，其余每负偏离一项扣1分（分值根据具体技术参数的数量综合设定）。

3
商务需求
9

序号
评分因素
权重
评分方式
评分准则

1
免费保修期内售后服务条款偏离情况
5
专家评分
投标人应如实填写《免费保修期内售后服务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，带▲每负偏离一项扣20分，其余每负偏离一项扣10分。
（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与一般参数设定不同的扣分档次）。

2
免费保修期外售后服务条款偏离情况
（可选）
2
专家评分
投标人应如实填写《免费保修期外售后服务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，带▲每负偏离一项扣40分，其余每负偏离一项扣15分。
（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与一般参数设定不同的扣分档次）。

3
其他商务条款偏离情况
2
专家评分
投标人应如实填写《其他商务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，带▲每负偏离一项扣20分，其余每负偏离一项扣4分。
（“x”分值根据商务条款的数量综合设定，允许对重点参数与一般参数设定不同的扣分档次）。

4
综合实力部分
6

序号
评分因素
权重
评分方式
评分准则

1
投标人近三年同类业绩（截止日为本项目公告发布之日）
3
专家评分
提供3个同类业绩即得满分，提供2个得60分，提供1个得30分，未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每一个完工项目的合同和验收报告，否则不得分。

2
履约评价
3
专家评分
根据深圳市政府采购履约评价库中的资料打分。履约评价无差评的得100分，有差评的得0分。

其它


1：采购需求公示期限为48小时（公休日、节假日时间不计算在内）。在公示期内，供应商如需要对采购需求提出意见或建议的，
可登录深圳市政府采购网，在“采购申报→提出需求疑问”功能点填写意见或建议，由采购人进行回复。
2：采购需求不等同于正式发布的采购文件，对采购需求提出意见或建议不属于对采购文件质疑。

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 刻蚀

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