一．采购人名称：浙江大学杭州国际科创中心

二．单一来源编号：/

三．采购项目名称：MEMS工艺加工测试

四．采购项目概况：

五． 拟采用的采购方式：单一来源采购方式

六.申请理由：

项目核心产品射频滤波器测试加工工艺主要涉及薄膜沉积、刻蚀、光刻等工艺。为了保证工艺整体性，降低晶圆在不同工厂之间运输带来的成本以及风险，业界普遍认为应在同一fab厂完成各道工艺流片。经过调研问询，同时具备以上工艺流片能力且满足其中关键薄膜沉积工艺技术节点的单位有如下几家：中芯国际集成电路制造有限公司，中国科学院苏州纳米技术与纳仿生研究所，中国科学院上海微系统与信息技术研究所。中国科学院苏州纳米技术与纳仿生研究所下的纳米加工平台是集微米、纳米加工和检测手段于一体，具有先进的、有特色的多功能加工平台。该平台积极推进平台的开放性建设，面向全国各院所和企业，乃至开展国际合作项目或面向国际研究等单位提供服务，据了解有多家公司在苏纳所纳米加工平台进行类似产品的研发及代加工项目。

因流片数量较小，中芯国际集成电路制造有限公司未提供报价。上海微系统所只能提供8寸晶圆的加工服务，与本项目6寸晶圆加工不符。苏纳所提供灵活加工模式，费用与项目流片数目有关，在该预算有限的情况下，苏纳所更合适。

八．拟定供应商：

1、拟定供应商名称

中国科学院苏州纳米技术与纳仿生研究所

2、拟定供应商地址

苏州工业园区独墅湖高等教育区若水路398号

九．论证专业人员信息及意见：

具体论证意见：

2021年2月23日，浙江大学杭州国际科创中心组织专家就测试加工服务采购进行单一来源采购论证，论证专家组听取了该设备采购项目的汇报，就相关问题进行了质询，在各位专家独立评价的基础上，经充分讨论，形成如下论证意见：

1.苏纳所拥有相对经验丰富的技术团队，部分工程师参与了类似项目的相关工艺研发，拥有较丰富的相关工艺调试经验，技术交流沟通起来更为方面，能够为本项目工艺开发提供有价值的建议。

2.苏纳所提供包年，包次等相应灵活的加工服务，单次加工测试费用与流片数量相关，在计划四轮轮流片，项目经费有限的情况下，相比其他代加工平台费用更为合理。

3.苏纳所允许派工程师跟进加工，这为培训工程师，掌握关键工艺，控制关键参数提供了方便。最为重要的是工程师可以操作部分机台，可以保证部分工艺参数，结构设计等核心竞争力不泄密，这是其他代加工公司不能保证的，但是本项目应该重点关注的点。

4.因此基于上述情况综合考虑，仅有中国科学院苏州纳米技术与纳仿生研究所能满足本项目的测试加工要求。

十．其它事项：

本项目公告期限为5个工作日，供应商对该项目拟采用单一来源采购方式及其理由和相关需求有异议的，可以在公示期限内（截止时间为本公示发布之日后的第6个工作日），以书面形式向采购人或代理机构提出异议。

十一．联系方式

采购人名称：浙江大学杭州国际科创中心

联系人：张老师

联系电话：****-********

地址：浙江省杭州市萧山区建设三路733号浙江大学杭州国际科创中心

附件信息:

• ********8/20213/a1d9b50e-9a93-4985-88c9-20ba927080ee">浙江大学杭州国际科创中心测试加工服务单一来源论证报告.pdf

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