激光光刻机招标公告
激光光刻机招标公告
项目名称:武汉华工图像技术开发有限公司激光光刻机采购
日期:2013年03月29日
招标编号:0616-1340WH132011
湖北设备工程招标有限公司受买方委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2013年03月29日在公告。本次招标采用传统招标 方式,现邀请合格投标人参加投标。
1、招标产品的名称、数量及主要技术参数:
激光光刻机 1套
1招标项目编号: 0616-1340WH132011
2设备名称:激光光刻机
3数量:1 整套设备
4*该设备合同生效后4个月内安装调试(生产出2种以上合格的产品,并经双方签字认可)完毕,超过4个月不予考虑。
5项目描述:
项目基于激光干涉光刻技术,通过对光刻胶材料进行光刻处理,将图像记录在光刻胶材料上。
6主要设备单元概述
设备由下列部分构成:
1、计算机
2、光刻设备主体
6.1计算机
计算机系统内置KineMax激光光刻机独有的光刻程序软件,具备图像的读取与识别,以及整个系统的控制等功能。
6.2光刻设备主体
在光刻程序的控制下利用激光干涉原理将图像记录在光刻胶板上,是激光光刻机的主体。
蓝光激光器
定位系统
运动控制系统
自动对焦系统
条纹显示系统
光学图像处理系统
微缩图案成形装置
自动准直聚焦控制系统
光学平台
7能适应加工的材质类型
7.1*光刻胶板
8关键技术指标
8.1*分辨率:最高可达24000dpi
8.2*曝光面积:200mm×200mm
8.3*控制速度:3000dpi下20 cm2/h,24000dpi下最小速度为3 cm2/h
8.4*设备系统需同时具备全息光刻与激光直写技术的双头模式。
9功能描述
9.1 整套设备应用激光干涉全息照相原理,基于激光光刻技术,将生产所需的图像记录到光刻胶材料上。
10 所有的工作部分要具备相应的安全保护装置。
11 主要控制系统要求具有保护装置以避免突然的停电造成数据的丢失或者设备的损坏
12 各部分均要求易于维修和维护,请投标方详细叙述
13 请投标商提供同类型设备产成品合格率的长期运行记载证明材料。
14 设备应技术成熟,有成功的使用案例
15 其他技术要求
15.1请在标书中列出投标设备的所有的易损件和常备件的清单
15.2设备设计制造应符合设备生产国的工业产品标准
15.3设备所有零部件和各种仪表的计量单位应全部采用国际单位(SI)标准
15.4所有连接部分(连接螺栓)均采用公制配合
15.5设备的设计使用寿命不得低于10年(指主要关键部件的设计使用寿命)
15.6设备的电磁辐射等标准必须符合中华人民共和国ISO14000环境管理体系国家标准或设备生产国的产品相关标准,请在投标资料中提供有效的证明。
2、招标文件售价:400.00
3、购买招标文件时间:2013-03-29
4、购买招标文件地点:湖北设备工程招标有限公司
5、投标截止时间和开标时间:2013-04-18 10:00
6、中标情况将在公示。
7、开标地点:湖北设备工程招标有限公司4号会议室
地 址:中国湖北省武汉市武昌中北路108号附3号广泽中心五楼
邮编:430071
电子邮箱:hbzbzx2010@163.com
电话: ***-********
传真:***-********
联系人:叶蕾、吴文博、朱小青
开户银行(人民币):浦发银行武汉分行
开户银行(美元):浦发银行武汉分行(外汇)
帐 号(人民币):****************6
帐 号(美 元):****************(美元)
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