原子层沉积系统（清设比选20210263号）采购公告
原子层沉积系统（清设比选20210263号）采购公告
| 采购项目名称 | 原子层沉积系统 | 采购项目编号 | 清设比选********号 |
|---|---|---|---|
| 公告开始时间 | 2021-03-10 10:13:41 | 公告截止时间 | 2021-03-13 11:00:00 |
| 采购单位 | 清华大学 | 付款方式 | 货到付款100% |
| 对外联系人 | 本项目不接受咨询 | 联系电话 | 本项目不接受咨询 |
| 签约时间要求 | 成交后10个工作日 (如不按时签订合同，采购单位有权取消或变更采购结果) | 交货时间要求 | 签订合同后30个工作日 |
| 最高限价 | 未公布 | ||
| 交货地址 | 北京市清华大学工物馆104 | ||
| 供应商特殊资质要求 | 无 | ||
采购清单1
| 物资名称 | 采购数量 | 计量单位 |
|---|---|---|
| 原子层沉积系统 | 1 | 台 |
| 品牌 | 重庆瑶欧 |
|---|---|
| 型号 | D100-4882 |
| 技术参数及配置要求 | (一) 设备采用不锈钢设备框架、反应器及管路附件； (二) 样品基片尺寸：4英寸； (三) 反应器加热温度：室温～400 oC； (四) 4路前体源：每路包含高温高速ALD专用阀门（美国世伟洛克）、不锈钢试剂瓶、试剂瓶阀门；4个加热套，可对管路和3路源进行加热（室温～200 oC）； (五) 所有前体源、载气管路采用不锈钢管路、以及进口不锈钢VCR接口； (六) 采用8通道阀岛（德国费斯托）集成气动控制系统（最大可扩展至7路前体源）； (七) 采用8通道高精度PID温控系统（厦门宇电）； (八) 载气采用数字流量计（七星华创）程序控制； (九) 真空泵系统：真空机械泵与相关管路； (十) 尾气吸附肼1套，真空泵上面配备专用油雾过滤器，以吸附过量的反应物，从而保护真空泵； (十一) 臭氧系统：高浓度臭氧发生器及相关管路；臭氧流量为数字流量计控制，控制精度可达到+/-0.3sccm； (十二) 预装Windows笔记本电脑；集成整合界面自动控制软件；程序控制两种工作模式 |
| 质保期 | 12个月 |
清华大学
2021-03-10 10:13:41
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