项目名称：硅片自动检测分选机
日期：2013年04月09日
招标编号：0807-1340CZGJ0470/02
陕西省采购招标有限责任公司受买方委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2013年04月09日在公告。本次招标采用传统招标 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标产品的名称、数量及主要技术参数：
采购设备：硅片自动检测分选机
采购数量：2台
主要技术参数：
2.1设备主要性能指标
*1、二维几何尺寸测量（长、宽、对角长、倒角长、垂直度、平行度）
　　ⅰ可测125mm、156mm和210mm三种尺寸的硅片
　　ⅱ分辨率： ≤50μm/pixel
　　ⅲ重复性精度： <100μm（长、宽、对角长、倒角长）
≤0.1°（垂直度、平行度）
*2、侧边检测（单晶准方片圆弧面与四侧边的崩边、缺口、立边硅落）
　　ⅰ分辨率： ≤25μm/pixel
　　ⅱ最小测量值： ≤50μm
*3、上下表面质量检测（沾污、指纹、残留物、缺角、破损、崩边、裂纹）
　　ⅰ分辨率： ≤25μm/pixel
　　ⅱ最小测量值： ≤50μm
*4、三维参数测量（厚度、TTV、翘曲度、线痕）
　　ⅰ分辨率： ≤1μm/pixel
　　ⅱ重复性精度： ≤1μm
*5、隐裂检测（隐裂、气孔、硬质点）
　　ⅰ分辨率： ≤50μm/pixel
　　ⅱ最小测量值： <100μm
*6、生产部分
　　ⅰ检测速度：1片/秒
　　ⅱ产能： >3000片/h
　　ⅲ开机率：>95%
　　ⅳ破片率：≤0.1%
　　Ⅴ平均维修时间：≤2h
　　Ⅵ平均无故障时间：≥1000h
　　Ⅶ上料区可承载料盒数：≥6个（50片料盒）
下料仓位数：≥13个（12个可设定检测项目）
*7、需支持以下项目
ⅰ预留电阻率测试模组和少子寿命测试模组位置与接口，以及数据输出接口
　　ⅱ支持N型硅片检测和金刚线切割硅片检测
　　ⅲ支持中文操作界面
　　ⅳ支持数据存储、跟踪及分析、统计与打印功能
　　Ⅴ配置MES系统
　　注：重复性精度指10次重复性测试结果的标准方差（3σ）
2.2设备要求
1、 设备安装调试：在工艺满足的情况下，设备满足以下要求：
*检片准确率：≥99%
2、招标文件售价：1000.00
3、购买招标文件时间：2013年4月9日至2013年4月29日
4、购买招标文件地点：西安市朱雀广场省政务大厅四楼
5、投标截止时间和开标时间：2013-05-03 09:30
6、中标情况将在公示。
7、开标地点：西安市高新二路山西证券大厦八楼会议室
地 址：西安市高新二路山西证券大厦八楼
邮编：710075
电子邮箱：shaanxibidintldept@163.com
电话： ***-********-***
传真：***-********
联系人：雷鹏彭小凡
开户银行（人民币）：中国银行西安南郊支行
开户银行（美元）：中信银行西安分行
帐 号（人民币）：********3383
帐 号（美　元）：****************237