一、询价采购编号：X*******

二、询价人：苏州大学采购与招投标管理中心

地址：江苏省苏州市东环路50号凌云楼904室

邮编：215021　　　　　　　传真：****-********

联系人：丁老师　　　　　　电话：****-********，********

电子邮箱：dingy@suda.edu.cn

技术联系人：吴老师　　　　电话：183*****225

电子邮箱：jqwu@suda.edu.cn

三、设备名称、数量及主要技术指标等要求：

　原子层沉积系统　　1套

（一）主要技术参数要求

1.主控系统为PLC，采用PID温度控制方式，可拆卸加热套

2.设备本底真空为0.67 Pa

3.设备漏率≤5×10-10 Pa?m³/s

4.样品台尺寸φ100mm ，高度≤19 mm，加热温度至400度，可配备粉末盘，可原位升级等离子体系统

5.三种沉积模式：连续模式、停流模式和专业模式

（二）主要配置要求

1.主机尺寸：长宽高: 1000*800*1450mm（长宽高）

2.触摸屏固定于面板上，可360度自由旋转，可调视距、视角、自由悬停

3.机柜主体采用铝型材可移动框架，门板采用不锈钢拉丝，面板为不锈钢镜面

4.主管路6路，常温反应源1路，加热反应源3路，预留2路

5.设备生产过程符合ISO9001质量管路体系认证要求

（三）质保期不少于1 年，软件终身免费升级。

四、询价采购文件价格：人民币300元（相关缴纳事宜详见附件），售后不退。

五、报价截止时间：2021年4月14日14：00。请在报价截止时间前登录苏州大学仪器设备供应商库http://gysk.suda.edu.cn完成注册。

六、有兴趣并符合资格条件的供应商，请务必认真阅读《苏州大学网上询价采购仪器设备报价须知》，在接受其所有条款要求的基础上按要求进行报价。

七、报价文件递交：顺丰快递邮寄（请充分考虑快递送达时间，避免错过时间）。

[if gte vml 1]>附件：标书费缴纳说明.pdf

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询价采购编号：X*******

成交供应商：