磁控溅射沉积系统（XF-WSBX-2100154）采购公告

招 标 正 文
 

磁控溅射沉积系统（XF-WSBX-2100154）采购公告

项目名称磁控溅射沉积系统项目编号XF-WSBX-*******
公告开始日期161*****18000公告截止日期161*****00000
采购单位浙江大学付款方式货到付款。境内供货的，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总款项。 境外供货需要由甲方办理进口减免税业务的，也必须以人民币报价，且包含货送到用户指定实验室前的所有费用。甲方指定的外贸代理公司在甲方到货验收后15日内向乙方指定的外方公司一次性支付款项。支付方式在《技术参数及配置要求》栏内另有约定的，从其约定。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后15天到货时间要求成交后60天
预 算400000.0
收货地址浙江大学海宁国际校区
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
磁控溅射沉积系统1台电工器材
品牌无
型号无
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算400000.0
技术参数及配置要求真空系统1.真空腔室、连接管道和所有法兰均采用优选的SUS304不锈钢，材料致密放气量小；真空腔室为D型圆筒形，尺寸：Φ450×H450mm；前门带观察窗，可视直径为80mm，带有观察窗；右后侧连接抽气接口，管道直径DN150mm，抽气口带粗过滤防止大物掉落；腔体内部安装加热板，对腔体可以进行烘烤，最高加热温度150度；腔体带一个DN30的观察窗，并在外安装LED灯，用于腔体照明；腔体漏率小于1.0×10-10Pa/m3/s；腔体内外表面电解抛光处理。2.真空机组采用复合分子泵配合直联旋片泵作为真空抽气系统；国产分子泵：对氮气抽速大于600L/s；国产机械泵：抽速：6L/s；极限真空：小于6.7E-5Pa恢复真空速度：用氮气破空，从大气至6.7E-4Pa时间小于40分钟。3.真空测量采用国产复合真空计，测量范围从大气开始，到1.0E-5Pa；进口薄膜电容真空计，满量程1Torr。溅射单元1.集成3组3英寸磁控阴极，兼容射频、直流电源输入；常规磁场强度，不能溅射Ni，Fe等铁磁性材料；靶角度可调，并带电动挡板；靶材大小为直径50.8mm，厚度≤5mm，靶材利用率＞30%2.配置1000W直流溅射电源2台，500W射频电源1台（带自动匹配器）。3.配置2路工艺气体，一路Ar，一路O2，采用气体流量计控制，带混气室，Ar流量200sccm，O2流量100sccm。4.配置霍尔离子源用来基片清洗。？样品台：1.可装载最大6英寸样品（样品盘直径150mm，方片尺寸100*100mm）2.样品台旋转：转速0-25rpm连续可调3.样品台可升降，通过步进电机精确控制升降距离。最大行程10cm4.样品台可加热，最高温度450度，温度控制精度±0.5度，可设定升温斜率。加热区内，温度均匀性±5℃控制单元：控制系统采用触摸屏连接PLC控制触摸屏控制内容：1）机械泵，分子泵，前级阀，放气阀，预抽阀，充气阀的开关，并在控制界面有状态显示。2）完备的互锁系统，包括预抽阀与前级阀的互锁；放气阀与插板阀的互锁；气压到大气以后自动关闭放气阀。 3）所有的温度显示，包括基片加热温度，腔体加热温度，并可以设置加热斜率，并在触摸屏上显示加热曲线。4）可以显示抽气曲线，并显示抽气时间。5）可以控制各个挡板，并在控制界面有状态显示6）可以在报价界面显示各类报警。7）急停为物理按钮，按下可关闭插板阀，分子泵，以及关闭所有电源。8）可以实现自动抽真空，自动停机功能；工艺部分手动操作
售后服务服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务年限:1;服务时限:报修后24小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

报价地址：https://www.yuncaitong.cn/publish/2021/04/19/20KNOEEIQ02ASDA7.shtml

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 沉积系统 磁控溅射

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