溅射镀膜机（XF-WSBX-2100160）采购公告

招 标 正 文
 

溅射镀膜机（XF-WSBX-2100160）采购公告

项目名称溅射镀膜机项目编号XF-WSBX-*******
公告开始日期161*****11000公告截止日期161*****00000
采购单位浙江大学付款方式货到付款。境内供货的，甲方在到货验收后15日内向乙方一次性支付本项目的总款项。 境外供货需要由甲方办理进口减免税业务的，也必须以人民币报价，且包含货送到用户指定实验室前的所有费用。甲方指定的外贸代理公司在甲方到货验收后15日内向乙方指定的外方公司一次性支付款项。支付方式在《技术参数及配置要求》栏内另有约定的，从其约定。
联系人中标后在我参与的项目中查看联系电话中标后在我参与的项目中查看
签约时间要求成交后7天到货时间要求成交后66天
预 算490000.0
收货地址海宁国际校区工程大楼
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购商品采购数量计量单位所属分类
溅射镀膜机1台电工器材
品牌无
型号无
品牌2无
型号无
品牌3无
型号无
预算490000.0
技术参数及配置要求一、真空腔室1）真空腔室、连接管道和所有法兰均采用优选的SUS304不锈钢，材料致密放气量小；2）真空腔室为D型圆筒形，尺寸：Φ450×H450mm；3）前开门结构，门孔大小：400mm×360mm4）前门材料：6061铝型材5）前门带观察窗，可视直径为80mm，带有观察窗。6）锁门方式：手动，上下2个杠杆把手7）右后侧连接抽气接口，管道直径DN150mm，抽气口带粗过滤防止大物掉落。8）底部为4个功能模块接口，采用赛威科标准法兰SWS140。9）顶部为基片台模块接口。大小ISO25010）腔体内部安装加热板，对腔体可以进行烘烤，最高加热温度150度。11）腔体带一个DN30的观察窗，并在外安装LED灯，用于腔体照明12）真空腔以及其它部件的软硬件至少有英文语言加工工艺与技术指标：1)采用本公司高真空腔室焊接，清洗工艺，采用进口真空系统氦质谱检漏仪全程跟踪检漏，腔体漏率：小于1.0×10-10Pa/m3/s；2)内外表面电解抛光处理。二、真空系统2.1 抽气系统1）真空机组采用复合分子泵配合直联旋片泵作为真空抽气系统；2）分子泵：对氮气抽速大于600L/s；3) 机械泵：抽速：6L/s；4）极限真空：小于6.7E-5Pa5）恢复真空速度：用氮气破空，从大气至6.7E-4Pa时间小于40分钟2.2 真空阀门1）采用带预抽管路的真空抽气系统。2）前级阀和预抽阀采用KF40气动角阀3）主阀采用DN160口径的气动插板阀。4)安装一个节流挡板，从而可以降低工艺气体流量，有利于稳定工艺气压。2.3 真空测量真空测量系统为进口全量程冷阴极真空计一个进口薄膜电容真空计，满量程1Torr。三、溅射单元1）磁控阴极模块化安装，采用赛威科标准法兰SWS140，可与其他法兰简单替换，便于后期更换维护。2）安装3组3英寸磁控阴极，两组常规磁场强度靶，1组强磁靶（可以溅射Ni，Fe等磁性材料）3）靶角度可调，并带电动挡板。4）靶材大小为直径76.2mm，建议厚度≤5mm。5）磁控阴极必须通水冷却。6）靶材利用率不超过40%7）阴极兼容直流电源和射频电源输入。溅射电源：1）进口500W直流溅射电源，可以切换使用2）进口300W射频电源，带自动匹配器。不可以切换使用。气路系统：1）配置两路工艺气体，1路Ar，1路O2，采用气体流量计控制。带混气室。2）Ar流量200sccm，O2流量100sccm，四、样品台1）可装载最大6英寸样品（样品盘直径150mm，方片尺寸100*100mm）2）可以根据客户样品形状和大小定制样品托（不超过上述尺寸）；3）样品台旋转：转速0-25rpm连续可调；4）样品台可升降，通过步进电机精确控制升降距离。最大行程10cm5）样品台可加热，最高温度450度，温度控制精度±0.5度，可设定升温斜率。加热区内，温度均匀性±5℃。6）带电动挡板。五、控制单元控制系统采用触摸屏连接PLC控制:。触摸屏大小：10寸电阻屏触摸屏控制内容：1）机械泵，分子泵，前级阀，放气阀，预抽阀，充气阀的开关，并在控制界面有状态显示。2）完备的互锁系统，包括预抽阀与前级阀的互锁；放气阀与插板阀的互锁；气压到大气以后自动关闭放气阀。 3）所有的温度显示，包括基片加热温度，腔体加热温度，并可以设置加热斜率，并在触摸屏上显示加热曲线。4）可以显示抽气曲线，并显示抽气时间。5）可以控制各个挡板，并在控制界面有状态显示6）可以在报价界面显示各类报警。目前设置的报警内容包括：各个部件的水压报警；气压报警；腔体门位置报警；分子泵过流过热报警警等。报警作用是会有声光显示。1）急停为物理按钮，按下可关闭插板阀，分子泵，以及关闭所有电源。2）可以实现自动抽真空，自动停机功能。工艺部分手动操作。六、水冷报警保护系统◆总进水与总出水接制冷循环水机，水温需控温范围 10-25℃。给电极、分子泵、提供稳定的制冷循环水，保证设备稳定运行。◆水路：一进一出，保障循环供水到每个水冷部件；◆水压传感器：1套，总出水采用水压继电器检测供水及水压状态，执行异常报警。
售后服务服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务年限:2;服务时限:报修后4小时;销售资质:协议供货商;商品承诺:原厂全新未拆封正品;

报价地址：https://www.yuncaitong.cn/publish/2021/04/19/20KNOECAWLDY7D9P.shtml

联系人：郝工
电话：010-68960698
邮箱：1049263697@qq.com

标签: 镀膜机

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