发布时间：2021-04-20 14:11:57 截止时间：2021-04-23 17:00:00
基本信息：
申购单号：CB146*****1000120 申购主题：原子层沉积设备 采购单位：深圳技术大学 报价要求：含税 发票类型：增值税普通发票 币种：人民币 预算
签约时间： 送货时间： 安装要求：免费上门安装（含材料费） 收货地址：深圳技术 我要报价
付款方式：货到验收合格后付款 备注说明：
供应商出现下列情形之一的，其响应属于非实质性响应：（一）报价总价超过总预算，或者报价单价超过对应的单项预算；（二）推荐品牌竞价的，供应商响应的产品品牌不在推荐品牌范围内；（三）供应商响应的产品数量违背需求中产品数量的；（四）供应商响应的交货期长于本项目采购需求明细中约定的交货期要求；（五）供应商响应的任意一项服务要求不符合本项目公告中约定的服务要求；（六）供应商响应的任意一项技术要求不符合本项目采购需求明细中约定的技术要求；（七）供应商应答文件中分项报价之和大于其竞价总价的；（八）供应商未按项目要求上传竞价应答文件，或供应商应答文件未按竞价应答文件格式规定内容、格式提交或填写不完整；（九）采购需求指明拒绝进口，供应商选用进口产品参与竞价；（十）竞价采购的产品属于强制节能产品，供应商未选用节能产品响应竞价或者应答文件中未提供有效的节能产品认证证书扫描件。
申购明细：
序号
1
采购内容
原子层沉积设备
数量
1套
预算单价
品牌
不推荐
型号
不推荐
规格参数
1.反应腔系统 1.1反应腔：反应腔体材质为316L，腔体主体为整块材料加工，无焊接，漏率≤ 5×10-10 Pa·m3/s，腔体表面镜面抛光后电解，腔体采用独特的燕尾槽密封槽并配备耐腐蚀O-Ring密封圈； 1.2样品台直径8英寸（200mm），腔体高度≤10mm，可生产8英寸及以下尺寸样品，进气口规格为：Swagelok标准1/2” Female接头； 1.3 样品台采用不锈钢铠装加热盘加热，最高加热温度400℃，腔体墙壁采用不锈钢铠装加热丝，最高加热温度300℃。两套温度传感器同时检测腔壁及样品台温度，温度控制精度温度±1℃； 2.前驱体源 2.1 前驱体源入口与腔体间管路配备加热保温系统，所有管路均包裹在加热套中，最高加热温度可达200℃，配置温度传感器，温度精度满足±1℃； 2.2 配备4路前驱体液源源管路，其中包括水和臭氧公用1路； 2.3 每路液态前驱体源配备独立的ALD专用隔膜阀，手动隔膜阀和50mL不锈钢专用钢瓶； 2.4 ALD阀门，采用响应时间小于10ms的ALD专用隔膜阀，ALD阀门的阀座内置加热棒，外部配备保温套，最高加热温度可达200℃，配置温度传感器，精度满足±1℃。 3. 臭氧源系统 3.1 配备臭氧发生器，产量＞10g/h，浓度100mg/L，同时配备0-200sccm质量流量控制器调节臭氧流量，臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水， 尺寸不大于 510*510*210 mm ； 3.2配备臭氧破环器以破环残留的臭氧； 3.3臭氧发生器与设备集成一体； 3.4臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水，尺寸不大 510*510*210 mm。 4. 真空系统 4.1 配备高性能知名品牌真空泵，抽速不小于12m3/h，本底真空0.5*10-3Torr，配备高性能压力传感器，检测范围：1000-2.3*10-4Torr； 4.2 排气管路：排气管路加热温度室温至150℃可控，配置截止阀一个，加热温度室温至150℃可控； 4.3 尾气处理：真空腔室与真空泵之间配置尾气热分解与吸附装置。 5. 控制系统 5.1 系统采用PLC+触摸屏人机界面，通过高速以太网通讯，可进行远程监控； 5.2 界面操作系统实时显示系统加热状态、阀门开关状态、气体流量、腔室压力曲线以及配方进展； 5.3 界面操作系统具备对温度、压力及流量等参数的异常报警； 5.4 界面操作系统支持历史数据、报警日志以及实时压力曲线的存储,浏览和导出功能； 5.5界面操作系统具备配方的编辑,保存及读取功能，配方中包含沉积温度、循环次数、脉冲时间,保压时间, 等离子运行时间以及载气流量等工艺参数； 5.6界面操作系统具备ALD阀门动作次数记录； 5.7 界面操作系统具备镀膜进度倒计时以及镀膜实验报告浏览、导出功能; 5.8界面操作系统具备用户权限管理功能，可根据用户级别设定使用权限，针对操作人员分级管理; 5.9界面操作系统可自动完成镀膜配方运行； 5.10界面操作系统配备独立的维护界面，所有管路具备自动清洗功能，确保ALD阀门与真空腔之间的管路没有前驱体残留； 5.11阀门配备电磁阀，电磁阀响应时间<5ms，带过电压保护回路，带动作指示灯； 5.12 压缩空气配备过滤系统且具备压力报警功。
质保及售后服务
按行业标准提供售后服务