南京航空航天大学扫描探针显微镜（SPM）项目招标公告
南京航空航天大学科技部所需扫描探针显微镜（SPM）项目进行招标，现邀请具备相应资质的单位前来报名投标。

一、项目概述

扫描探针显微镜。

二、项目技术要求

能够大气及液体环境下在准确地观测样品表面纳米尺度的三维形貌；同时可对样品表面物理化学特性进行研究，如表面组分区别、温度、表面电势、磁场力、静电力、摩擦力和其他表面力以及电化学相互作用力的测量；同时可以对样品表面进行纳米尺度的刻蚀和加工。在研发、工艺改进、品质控制和失效分析等方面的应用包括,Z轴的的噪音水平达到亚-埃米级，X-Y方向达埃米级。闭环噪音水平XY方向低于0.3nm,Z方向低于0.05nm ,稳定后的热漂移小于1nm/分钟，定位精度小于1nm

主要技术要求如下：

1．配置要求

1) 高速控制器系统（ Windows XP 软件控制系统）

2) *扫描探针显微镜主机(开放大样品台平台,闭环管状扫描器)

3) *扫描器一个(低噪音闭环扫描器)

4) 探针支架一组(实现形貌及物理特性测试要求)

5) 150mm移动范围马达自动控制样品台

6) *样品台真空吸附附件

7) 辅助光学系统,含高分辩CCD系统

8) 防震台

9) 隔音罩

2 .附件

1) 标准样品(云母5,石墨5,光栅1)

2) 工具一套

3) 接触模式探针150根

4) 轻敲模式探针50根

3.配置功能列表

1) 接触模式（Contact AFM）

2) *轻敲模式（ Tapping Mode）

3) *抬高模式（LiftMode）

4) *智能扫描模式（scanasyst）

5) 力曲线及力谱线

6) 相位成像（Phase imaging）

7) 横向力显微镜(LFM)

4. 主要性能指标

1) 系统噪音水平：高度方向小于0.05nm， 水平方向小于0.2nm

2) *扫描器:扫描器:XY不小于90m, Z不小于10um， 扫描器为XYZ一体探针式扫描装置。扫描过程中样品为静止状态。样品大小可达到200mm，重量可达到10kg以上

3) 探针扫描大范围扫描装置一套（实现自动控制）

4) 系统可实现LiftMode的控制，抬高模式（对于表面磁学，电学特征的表征）

5) *样品台：150mm移动范围全自动样品台(真空吸附样品台)，可程序化控制，样品台可改装（可机械加工或拆除后适合特殊样品）

6) 八通道实时采集数据

7) *5百万像素数字摄像头,观察范围：180μm ~1465μm,自动缩放及聚焦,光学分辨率优于1.5um

8) *防震：提供防震装置（需要防止低频共振），可实现AFM云母或石墨原子台阶测试要求。提供隔音防电磁屏蔽罩子

9) 控制器PC（ 采用Windows XP系统的主机）

三、报名时间、地点及联系电话

报名时间：2013年5月30日至2013年6月5日止；节假日除外。

报名地点：南京航空航天大学明故宫校区（御道街29号）行政楼612室

联系人：姚老师

联系电话：***-********

南京航空航天大学采招办