项目名称：原子层沉积系统
日期：2013年06月18日
招标编号：0744-1340CSIE1729
中国神华国际工程有限公司受买方委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2013年06月18日在公告。本次招标采用传统招标 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标产品的名称、数量及主要技术参数：
原子层沉积系统（1套）
*3.1.1. 采用双腔体结构，反应腔独立安装在真空腔内，各自配置密封盖；
*3.1.2. 沉积样品类型包括：片状、粉末状、多孔状、球状等，只需配置相应的衬底夹持器即可在同一个反应腔体中完成，无须更换反应腔体。反应腔适用于140 mm x 140 mm的方形衬底和直径为8 inch的圆片衬底，以及尺寸范围内的方形衬底、圆形衬底和碎片，衬底厚度范围包括0.6~5 mm，可用于平面、纳米结构表面的薄膜沉积。反应腔适用于在深宽比达到1000:1以上的纳米结构上镀膜。衬底材料包括但不限于玻璃和硅片。
*3.1.3. 所提供的衬底夹持器可放置以下衬底类型: 不少于1片140 mm x 140 mm的方形衬底；不少于1片100 mm x 100 mm的方形衬底；不少于4片50 mm x 50 mm的方形衬底。
2、招标文件售价：6.招标文件每包每套售价人民币500元（大写：人民币伍佰元整）或80美元（大写：捌拾美元），售后不退。
3、购买招标文件时间：2013年6月18日起至2013年6月25日止，每天上午8:30-11:30，下午13：30-16：00（北京时间），法定节假日除外。
4、购买招标文件地点：北京市东城区东直门南大街3号国华投资大厦608室
5、投标截止时间和开标时间：2013-07-09 09:30
6、中标情况将在公示。
7、开标地点：北京市东城区东直门南大街3号国华投资大厦610会议室
地 址：北京市东城区东直门南大街3号
邮编：100007
电子邮箱：yushaojing@shenhua.cc
电话： ***-********,***-********
传真：***-********
联系人：于绍晶、马海燕
开户银行（人民币）：中国银行北京市分行
开户银行（美元）：中国银行北京市分行
帐 号（人民币）：********4966
帐 号（美　元）：********4966