感应耦合等离子体刻蚀机-询价采购公告-2021051100005
感应耦合等离子体刻蚀机-询价采购公告-2021051100005
询价采购公告
采购编号：2021051100005
截止日期：2021-05-21
西湖大学将对《感应耦合等离子体刻蚀机》项目进行询价采购，欢迎国内有能力的供应商参加谈判。本次采购的有关事项如下：
一、采购项目：
序号 | 设备名称 | 主要技术参数 | 数量 | 预算（人民币） |
1 | 感应耦合等离子体刻蚀机 | 刻蚀腔体尺寸：Φ350mm*H300mm，铝质桶形卧式结构，上盖可自动开闭。 Load-lock腔体尺寸：L500mm*W400mm*H200mm，铝质卧式结构，上盖自动开闭。 极限真空度：刻蚀室：≤5×10-4Pa，Load-lock室：≤6.7×10-1Pa 刻蚀室系统漏率：5×10-7Pa.l/s 刻蚀室静态升压：系统停泵关机后12小时后，真空度≤5Pa 抽速：系统充干燥N2解除真空，短时暴露大气后抽气抽至5×10-3Pa时间小于30min。射频阴极尺寸（最大样品尺寸）：Φ200mm。 Load-lock室最大运送样品尺寸：Φ6英寸 刻蚀均匀性：≤±5%（Φ6英寸） 主要工艺气体配置：SF6、CHF3、CF4、C4F8、O2、Ar（视具体刻蚀工艺） 电源配置：耦合电极（上电极）：13.56MHz，1000W自动匹配；偏压电极（下电极）：13.56MHz，600W自动匹配 自动压力控制系统：包含。 刻蚀距离自动调节范围：40mm-100mm，调节精度：1mm 水冷工作台温度：<15℃ 控制方式：基于PLC及工控机的全自动、半自动控制方式。 包含安全报警系统。 | 1 | 530000 |
预算合计 | 530000.0 | |||
注：
1、报价应包括货物送至用户指定地点并完成安装调试所需所有费用；
2、发送报价函时请随附：
1)营业执照复印件
2)产品经销权复印件
3)其它资质文件
3、详细技术参数需求，请联系：陈婷婷老师
4、报价函索取及接收邮箱：chentingting@westlake.edu.cn
二、询价截止时间： 2021年05月21日 下午5点30分。
三、询价地点：西湖大学云栖校区2号楼206室
四、供应商选择原则：质量、价格、服务和交货时间综合考虑。
五、质疑和投诉：
谈判响应方如认为采购文件使自身的合法权益受到损害的，应于自发布公告之日起5个工作日内以书面形式向采购机构提出质疑；谈判响应方如认为采购过程和成交结果使自身的合法权益受到损害的，可以在知道或者应知其权益受到损害之日起七个工作日内，以书面形式向采购机构提出质疑；谈判响应方对采购机构的质疑答复不满意或者采购机构未在规定时间内做出答复的，可以在答复期满后十五个工作日内向西湖大学设备资产部投诉：
投诉监督电话：0571-86886869
如发现违法违纪行为，请与西湖大学纪检监察办公室联系：
监督电话：0571-87923193
联系邮箱：jijian@westlake.edu.cn
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