西安建筑科技大学-竞价公告(CB107032021000020)
西安建筑科技大学-竞价公告(CB107032021000020)
申购单号:CB107032021000020
申购主题:紫外光刻系统
采购单位:西安建筑科技大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:发布竞价结果后15天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址:陕西省/西安市/碑林区/****
付款方式:货到验收合格后付款
备注说明:一、报价：报价包含设备费(含备品备件费).运杂费(含搬运、装卸、保险费等)、材料费、税费、安装费等一切费用。 二、付款方式：本项目无预付款，供货、安装调试完毕并验收合格后，无质量和服务问题，支付货款95％，剩余5％作为质保金，待设备使用满一年后无质量服务问题予以退还。 三、履约保证金：成交供应商在收到成交通知书后3个工作日内,向采购人提交合同总价5％的履约保证金,待项目验收合格后予以退还（无息)。 四、交货安装时间：确定供货通知之日起15日内完成供货、安装调试工作，最终交付用户可正常使用。 五、不接受除指定品牌型号外其他产品的竞价。 六、确定成交时，供应商需提供售后服务承诺和盖章版报价单。 供货时提供来源渠道证明材料。申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | 光刻机 | 1.0 | 套 |
| 品牌 | 中科院光电技术研究所URE2000-35L | ||
| 型号 | 中科院光电技术研究所URE2000-35L | ||
| 规格参数 | 技术要求：★1. 曝光面积：4 英寸★2. 曝光波长：365nm★3. 分辨力：1.5?m（胶厚2 ?m 的正胶）★4. 对准精度：?1?m★5. 掩模样片整体运动范围：X：15mm; Y:15mm★6. 掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸★7. 样片尺寸：直径 ?15mm-?100mm厚度0.1mm-6mm．可扩展为 15mm)8. 曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量9. 照明不均匀性： 4.5%（?100mm 范围）10. 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学最大倍光学+电子放大 800 倍；物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍；目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍11. 掩模相对于样片运动行程：X: ?5mm; Y: ?5mm; ?: ?6 度12. 汞灯功率：200W（直流）13. 曝光能量密度：10mW/cm2★14.具有纳米压印接口配置要求：（1）曝光头200W 进口直流高压汞灯，如德国欧司朗等)XYZ 汞灯调节台光学系统冷却风扇（2）对准工件台掩模样片整体运动台掩模样片相对运动台转动台样片调平机构手动样片调焦机构，手动承片台 3 个（2英寸、3英寸、4英寸）掩模夹 4 个（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）掩模抽拉式上下机构（3）对准显微镜光源（配备品 2 只）、电源双目双视场对准显微镜主体目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个），CCD对准系统和22寸液晶显示器（4）电控系统汞灯触发电。200W 直流汞灯单片机控制系统控制机箱（5）气动系统气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等电磁阀驱动气动仪表（6）其他附件真空泵一台；用于储存和处理图片的计算机系统一套，包含屏幕、主机、键盘和鼠标；连接管道仪器防尘罩一副（7）技术资料：使用维修说明书；显微镜使用说明书 | ||
| 质保及售后服务 | 质保三年，每年定期无偿培训2次 | ||
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 2 | 匀胶机 | 1.0 | 套 |
| 品牌 | 上海凯美特KW-4A-120S或江苏雷博AC-200-SE | ||
| 型号 | 上海凯美特KW-4A-120S或江苏雷博AC-200-SE | ||
| 规格参数 | 技术要求：★1. 稳定转速范围500-8000转/分；★2. 转速稳定度＜±1%★3. 涂胶时间范围：1-120秒4. 具备数据记录功能，可以储存不同的旋涂程序5. 真空托盘（3英寸）6. 真空泵系统配置要求：1. 转速可以在范围内任意调节2. 涂胶时间可以在范围内任意设置3. 电机功率40W左右4. 真空托盘适合φ5-150mm，或125mm×125mm方片的基片涂覆。5. 真空泵系统压强抽气速率>60L/min6. 仪器尺寸不大于300×250×300 mm7. 仪器重量不大于7kg | ||
| 质保及售后服务 | 质保三年 | ||
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 3 | 其他配件 | 1.0 | 套 |
| 品牌 | 满足技术要求 | ||
| 型号 | 满足技术要求 | ||
| 规格参数 | 掩模板2套：技术要求：★1. 尺寸：4寸★2. 材质：铬板包含2套图样，具体内容见附件。每套各1片。黄光安全灯管4根：技术要求：1. 5000小时流明维持率>75%2. 光通量> 500★3. 紫外线革除率 100%其他要求：1. 标准长度2. 标准启动电路3. 包含安装及线路改造费用正性光刻胶100mL、500mL包装各5瓶：型号：AZ P4620 | ||
| 质保及售后服务 | 质保三年 | ||
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 4 | 烤胶机 | 1.0 | 套 |
| 品牌 | 上海凯美特KW-4AH-350或江苏雷博HP5 | ||
| 型号 | 上海凯美特KW-4AH-350或江苏雷博HP5 | ||
| 规格参数 | 技术要求：★1. 温度范围：室温~600°C，范围内温控可调2. 风扇电机功率：11W配置要求：1. 加热工作台板尺寸不小于140×140mm2. 仪器重量不大于10kg3. 电源电压220V4. 适用于室内工作环境5. 恒温波动度≤±2°C6. 温度均匀性≤±3%（最高温度时，工作台板上各处温度均匀） | ||
| 质保及售后服务 | 质保三年 | ||
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